판매용 중고 ASYST SMIF-300FL #293682366

ASYST SMIF-300FL 웨이퍼 핸들러는 반도체 리소그래피 응용 프로그램을 위해 특별히 설계된 자동 취급 장비입니다. 완전 자동화된 완전자동 웨이퍼 처리 솔루션으로, 한 번에 최대 32 개의 웨이퍼를 처리할 수 있습니다. 이 제품은 높은 처리량, 정확성, 신뢰성을 위해 반도체 제조업체의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 시스템은 진공 기반 픽과 배치 모듈을 사용하여 웨이퍼를 처리합니다. 적절 한 종점 에 이르면, "웨이퍼 '가 정지 되고 추가 처리 를 위해 SMIF" 카세트' 에 놓인다. 또한 카세트 및 웨이퍼 (wafer) 수준에서 웨이퍼를 매핑 및 추적하기위한 강력한 장치를 통합합니다. 이 기계는 처리 중에 각 wafer 위치를 효율적으로 추적합니다. ASYST SMIF 300FL은 컨트롤러, SMIF 핸들러, 로봇 및 수동 핸들러의 네 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 컨트롤러는 사용자가 도구 작업을 제어할 수 있도록 합니다. SMIF 핸들러는 소스 카세트에서 내부 SMIF 카세트로 웨이퍼 이동을 담당합니다. 로봇은 웨이퍼를 적절한 끝점으로 이동하고 수동 (manual) 핸들러 (handler) 를 사용하여 수동 로드 및 언로드 작업을 수행합니다. 수동 핸들러 (Manual Handler) 는 사용자에게 전송, 로드 및 언로드 작업에 대한 수동 제어를 제공합니다. 에셋은 단일 또는 더블 웨이퍼 처리, 카세트-카세트 전송, 웨이퍼-웨이퍼 전송과 같은 유연한 웨이퍼 처리 옵션을 통합합니다. 또한 SECS/GEM 및 WATC를 포함한 표준 프로토콜도 지원합니다. SMIF 300 FL은 한 번에 최대 32 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있으므로 반도체 리소그래피 응용 프로그램을 위해 매우 효율적이고 생산적인 도구입니다. 이 모델에는 내온· 습도감시장비, 환경오염을 방지하는 첨단안전시스템 (APS) 등이 탑재돼 있다. 이 장치에는 자동 웨이퍼 기록 로그 (Automatic Wafer History Log) 및 간편한 유지 관리를 위한 진공 청소기 (Vacuum Cleaner) 와 같은 기능도 포함되어 있습니다. ASYST SMIF 300 FL 웨이퍼 핸들러는 반도체 리소그래피 응용 프로그램을 위해 강력하고 신뢰할 수있는 기계입니다. 효율적인 웨이퍼 처리, 정확한 매핑 및 추적 기능, 향상된 안전 기능을 제공합니다. 또한 유지 보수가 용이하며 높은 생산성과 안정성을 제공하도록 설계되었습니다.