판매용 중고 ASYST SMIF-300FL #293682358

ASYST SMIF-300FL 웨이퍼 핸들러 (ASYST SMIF-300FL wafer handler) 는 반도체 웨이퍼 처리 중 재료 전송 및 저장에 사용되는 특수 자동화 장치입니다. 최대 300mm 직경의 원형 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 초당 최대 300mm 속도로 웨이퍼를 이동할 수있는 고속 세트 SMIF 엘리베이터 (SMIF Elevator) 를 갖추고 있어 생산 중 처리량이 증가합니다. 이 시스템에는 레벨 기울기 (tilt) 와 반복 (repeatability) 을 보장하는 자동 레벨 컨트롤러가 장착되어 있으며, 응답 장치 전송을 위한 낮은 마찰 SMIF 슬레드도 포함되어 있습니다. ASYST SMIF 300FL은 컴팩트 한 디자인을 가지고 있으며 처리 벤치에서 최소한의 공간을 차지합니다. 또한 사용하기 쉽고 운영자 감독이 최소화됩니다. 처리기는 많은 웨이퍼 캐리어와 호환되는 유연한 개방형 SMIF 포드 형식으로 설계되었습니다. 협업공간 (Facility) 을 통해 동일한 유형의 여러 웨이퍼 (wafer) 를 전송할 수 있습니다. 즉, 웨이퍼를 한 영역에서 다른 영역으로 저장 또는 전송할 수 있습니다. 또한 ASYST 웨이퍼 핸들러 (ASYST wafer handler) 에는 반도체 처리에 이상적인 다양한 고급 기능이 있습니다. 양쪽에서 웨이퍼 (wafer) 에 빠르게 액세스 할 수있는 보안 유리 스윙 도어 (secure glass swing door), 원격 수동 로딩 (remote manual loading) 및 16 개의 프로그래밍 가능한 입력이 가능한 직관적 터치 스크린 인터페이스 (touchscreen interface) 를 통해 특정 응용 프로그램의 장치를 사용자 정의할 수 있습니다. SMIF 300 FL에는 인체 공학적 재료 전송 암, 고 드로 미터 AC 조명 어레이 및 유도 접지 된 C- 리프트 암이 장착되어 있습니다. ASYST SMIF 300 FL 웨이퍼 핸들러는 웨이퍼 처리에 대한 높은 수준의 안정성과 정확성을 제공하도록 설계되었습니다. 혁신적인 설계를 통해 고속 웨이퍼 (wafer) 이동을 통해 생산률을 보장하고 시스템 다운타임을 줄일 수 있습니다. 또한, 안전한 유리 스윙 도어 (secure glass swing door) 는 운영자 및 시설에 대한 웨이퍼 및 더 큰 안전성을 쉽게 이용할 수 있으며, 환경에서는 여전히 온도와 습도를 유지합니다. 프로그래밍 가능한 16 개의 입력을 활용하여 SMIF 300FL을 고유한 요구에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다.