판매용 중고 ASYST SMIF-300FL #293670617

ID: 293670617
빈티지: 2001
Loader 2001 vintage.
ASYST SMIF-300FL은 고급 반도체 제조 환경을 위해 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 완벽한 클로즈드 루프 (closed-loop) 웨이퍼 처리 프로세스를 통해 최종 제품의 최대 생산량 및 성능을 보장합니다. ASYST SMIF 300FL은 새로운 안전 디자인 (Safety Design) 을 특징으로하며 반복 가능한 정확성과 성능을 갖춘 신뢰할 수있는 핸들러입니다. 이 핸들러는 회사의 인기있는 드라이버 모터와 함께 작동하여 효율적이고 낮은 진동 (low-vibration) 작업을 수행합니다. 이 기계는 고급 웨이퍼 레벨 (wafer-level) 단계를 사용하며, 클린 룸에 웨이퍼를 지속적으로 로드하고 언로드하기 위해 장비를 반복합니다. 즉, 높은 처리량을 제공하는 고정밀 웨이퍼 처리 프로세스를 제공합니다. SMIF 300 FL에는 4 개의 SMIF 포드가 장착되어 있으며, 각 포드에는 최대 150 개의 웨이퍼가 포함될 수 있습니다. 이 시스템은 자동 웨이퍼 인식, 식별 및 정렬을 위해 레이저로 에칭 된 웨이퍼 바코드를 읽는 독특한 바코드 리더기 및 레이저 판독 시스템을 사용합니다. 최대 성능을 보장하기 위해 기계는 인코더 기반, 정밀 XYZ 동작 제어를 사용합니다. 이 동작 제어 장치는 반복 가능하고 정확한 위치를 지정하여 정확한 움직임을 가능하게 합니다. 이 기계는 또한 고품질의 반복 가능한 진공 픽업 핸드 (pick-up hands) 를 특징으로하여 웨이퍼의 균일하고 일관된 처리를 보장합니다. 또한 SMIF 300FL을 고급, 사용자 친화적 인터페이스로 프로세스 자동화 툴에 통합할 수 있습니다. 이 인터페이스는 운영 라인을 로드, 언로드, 모니터링할 수 있는 직관적인 제어 자산을 제공합니다. 이 모델은 또한 고가용성과 낮은 유지 보수 (maintenance) 를 위해 설계되었으며, 장기 운영 환경에서 일관된 성능을 제공합니다. 전체적으로 ASYST SMIF 300 FL은 정교한 안전 시스템, 광학 센서, 모션 컨트롤 및 프로세스 자동화 기술을 갖춘 고급 웨이퍼 핸들러입니다. 강력한 사용자 친화적 인터페이스를 통해, 반복 가능한 정확성과 안정성을 제공하며, 반도체 생산라인에 적합합니다.
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