판매용 중고 ASYST SMIF-300FL #293653969
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ASYST SMIF-300FL은 ASYST Technologies Inc.의 완전 자동화 된 고성능 웨이퍼 핸들러입니다. 매우 깨끗한 환경에서 연약한 반도체 웨이퍼의 로드, 언로드, 전송을 용이하게하도록 설계되었습니다. 이 장비는 4 개의 수평 포켓과 별도의 Wafer Transfer Station이있는 SMIF (Standard Mechanical Interface) 도크를 사용하여 다양한 프로세스 도구 간에 웨이퍼를 이동합니다. ASYST SMIF 300FL은 100 ~ 1000 등급의 여과 레벨로 클린 룸 환경에서 작동하도록 설계되었습니다. 즉, 0.5hm 이상의 최대 1000 입자가 평방 피트 당 존재할 수 있습니다. 즉, 최대 수준의 오염 방지를 보장하며, 로드, 언로드, 전송 과정에서 웨이퍼가 교차 오염되지 않도록 보호합니다. 또한 SMIF 300 FL은 고급 분리 (Separation) 기술을 통해 전송 작업 중 웨이퍼를 최대한 보호합니다. 이 시스템은 최적의 정확성을 위해 정밀 머시닝 (precision machined) 구성 요소로 제작되었으며, 보안 및 보장을 강화하기 위해 이중 잠금 장치를 갖추고 있습니다. 또한 고급 웨이퍼 추적 (advanced wafer tracking) 및 실시간 오류 감지 (real-time error detection) 기술을 통해 프로세스 정확도를 극대화할 수 있습니다. 이 기계는 또한 다양한 표준 및 사용자 정의 웨이퍼 크기를 지원합니다. 이 도구는 사용이 간편한 웹 기반 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 로 구동되며, 운영자와 프로그래머 모두 로드, 언로드, 웨이퍼 전송 프로세스를 관리할 수 있습니다. ASYST SMIF 300 FL (ASYST SMIF 300 FL) 에는 새로운 장비와 프로세스가 추가됨에 따라 빠르고 쉽게 확장 할 수있는 모듈식 디자인이 있습니다. SMIF 300FL은 안정적이고, 유연하며, 효율적인 웨이퍼 핸들러로, 반도체 웨이퍼에 대한 최대 보호 및 정확성을 제공하며, 운영 비용을 절감합니다. 이 자산은 웨이퍼의 로드, 언로드, 전송을 위한 깨끗하고 효율적인 환경을 제공하도록 설계되었으며, 이는 모든 반도체 생산/테스트 어플리케이션에 이상적인 선택입니다.
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