판매용 중고 ASYST SMIF-300FL #293651670

ASYST SMIF-300FL은 반도체 웨이퍼 프로세싱의 높은 요구를 충족하도록 설계된 최첨단 웨이퍼 핸들러입니다. 이 제품은 구성 요소와 기능 간 서브시스템의 유연한 구성을 활용하여 반도체 웨이퍼 전송, 정렬, 로드 프로세스를 자동화합니다. 구성 요소에는 RCU (Robot Control Unit), 웨이퍼 핸들러 및 오프라인 엘리베이터 장비가 포함됩니다. RCU (Main Control System) 는 웨이퍼 핸들러의 이동을 제어하고 전송, 정렬, 로드 프로세스를 통해 웨이퍼를 순환하는 데 사용되는 기본 제어 시스템입니다. 마이크로 프로세서 기반 PLC (Programmable Logic Controller) 와 통신 모듈로 구성됩니다. PLC는 웨이퍼 핸들러 (예: 웨이퍼 전송, 정렬, 로드 위치 지정) 의 움직임을 제어하는 데 사용됩니다. 통신 모듈은 로봇 제어 장치 (Robot Control Unit) 와 호스트 컨트롤러 (Host Controller) 간에 데이터를 전송하는 데 사용되므로 프로세스, 시스템 상태, 오류 보고 등을 자동으로 모니터링할 수 있습니다. 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 웨이퍼를 공구로 전송, 정렬 및 로드하는 데 사용되는 자동화된 기계입니다. 각 엔드 디스크, 로봇 암, 공압 처리 암, 센서 등 다양한 구성 요소가 장착되어 있습니다. 각 엔드 디스크는 웨이퍼 (wafer) 를 잡고 로딩 및 전송을 위해 위치로 이동합니다. 그런 다음, "로봇 '암 을 사용 하여" 웨이퍼' 를 표면 에 맞추어 공구 에 적재 한다. 공압 처리 암은 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 내에서 웨이퍼 (wafer) 를 관리하는 데 사용되므로 웨이퍼 (wafer) 전송에 대한 안전한 폐쇄와 로딩에 대한 안전한 정렬이 보장됩니다. 그런 다음, "센서 '는" 웨이퍼' 를 대상 표면 에 알맞게 맞춤 시키고 "로봇 '제어 도구 에 피드백 하여 그 과정 을 계속 모니터링 하도록 한다. ASYST SMIF 300FL에는 공구 통합을 위해 고급 설치가 간편한 오프라인 엘리베이터 자산도 있습니다. 조정 가능한 엘리베이터 플랫폼 (Elevator Platform) 과 진공 어댑터 (Vacuum Adapter) 가 포함되어 있어 공구 모델과의 원활하고 효율적인 통합이 가능합니다. "엘리베이터 '를 쉽게" 프로그램' 하여 수직 의 장비 를 상하 로 이동 시키고 수평 의 이동 "시스템 '을 위치 를 벗어나게 하여, 최대 의 유연성 과 여러 도구 와 통합 하는 편리한 방법 을 제공 할 수 있다. SMIF 300 FL 웨이퍼 핸들러는 매우 효율적이고 정확한 방식으로 반도체 웨이퍼를 전송, 정렬 및 적재 할 수 있습니다. 최첨단, 설치가 간편한 오프라인 엘리베이터 장치 (Offline Elevator Unit) 와 연계된 광범위한 구성 요소를 통해 거의 모든 공구 머신 (Tool Machine) 에 쉽게 통합할 수 있으므로 반도체 웨이퍼 프로세싱의 복잡한 요구에 적합합니다.