판매용 중고 ASYST SMIF-300FL #121297

ASYST SMIF-300FL 웨이퍼 핸들러 (ASYST SMIF-300FL wafer handler) 는 집적 회로 생산을 위해 반도체 산업에 사용되는 완전 자동화, 소형 및 신뢰성이 높은 장비입니다. 특수 프로세스 챔버 (process chamber) 와 웨이퍼 로드 포트 (wafer load port) 간의 웨이퍼 이동을 용이하게하도록 설계되었습니다. ASYST SMIF 300FL에는 단일 캡슐화 된 팔, 2 개의 선형 액추에이터, 3 개의 바닥판 및 3 축 쐐기 도구 척이 포함 된 6 축 로봇 팔이 장착되어 있습니다. 선형 액츄에이터는 X, Y 및 Z 방향의 +/- .003mm 내에서 정확한 이동과 제어를 제공합니다. 로봇 암의 유효 범위는 300mm이고 최대 부하 용량은 6kg입니다. 3 개의 바닥 판은 부드럽고 안전한 바닥 표면을 제공하여 작업 주기당 최대 6 개의 웨이퍼 (wafer) 를 쉽게 전송하고 보관합니다. 3 축 척은 작고 섬세한 웨이퍼 및 기타 기판을 부드럽게 제거, 운송 및 배치 할 수있는 반면, 온도는 섭씨 20 ~ 40 도 사이에서 유지 될 수 있습니다. 또한 SMIF 300 FL은 원격 레시피 제어, 확장성 및 여러 프로세스 챔버 연결 옵션을 통해 향상된 프로세스 유연성을 제공합니다. ASYST SMIF 300 FL에는 강력한 제어 기능 외에도, 탁월한 운영 단순성을 제공하는 올인원 (All-in-One) 통합 솔루션과 완벽한 안전 기능 및 보호 조치가 포함되어 있습니다. 이 시스템은 안전한 운영 및 안정적인 프로세스 제어를 위해 Windows 기반 5 레벨 안전 아키텍처를 사용합니다. 이 아키텍처는 잠재적인 안전 문제 (safety corruse) 를 감지하고, 공정 오염을 초래할 수 있는 운영/유닛 장애의 예방을 보장합니다. 또한 SMIF 300FL에는 직관적인 사용자 인터페이스, 강력하면서도 직관적인 프로그래밍 가능 논리 컨트롤러, 터치 스크린 기능 및 Cleaning, PVD, CVD, Lithography 등과 같은 다양한 프로세스에 대한 맞춤형 프로세스 통합 패키지가 있습니다. 컨트롤러의 개방형 아키텍처는 유연한 배포, 소프트웨어 확장성, 강력한 생산성을 제공합니다. SMIF-300FL (SMIF-300FL) 은 간편한 액세스 및 유지 관리를 위해 설계된 제품으로, 업그레이드를 쉽게 설치하거나 부품을 교체할 수 있습니다. 이 모든 기능 들 은 "웨이퍼 '처리 장치 를 새로운 높이 로 발전 시켰고, 그것 은" 반도체' 산업 을 위한 무적 의 선택 이 되게 하였다. 결론적으로, ASYST SMIF-300FL은 반도체 산업에서 웨이퍼 처리를 위해 안정적이고 강력한 옵션입니다. ASYST SMIF 300FL은 6축 로봇 암, 바닥판 3 개, 3축 척, 견고한 안전 아키텍처, 직관적인 사용자 인터페이스 및 프로세스 통합 패키지를 통해 효율적이고 비용 효율적인 웨이퍼 전송 및 프로세스 솔루션을 제공합니다.