판매용 중고 ASYST SMIF 300 WMS #162781
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ASYST SMIF 300 WMS (Wafer Management System) 는 최대 300mm 직경의 웨이퍼를 처리하도록 설계된 고정밀도, 모듈식 및 비용 효율적인 웨이퍼 처리 시스템입니다. 이 제품은 반도체, 데이터 스토리지, MEMS, photovoltaic 등 다양한 업종의 프런트엔드/백엔드 웨이퍼 처리 애플리케이션에 적합합니다. SMIF 300 WMS 는 기본 섀시 1 개, 컨트롤러 1 개, 섀시 내에 장착된 모듈 몇 개로 구성됩니다. 주 섀시에는 Siemens 호환 전원 공급 장치, 배전 보드, 이동식 백플레인, 추가 모듈용 여러 장착 플레이트가 있습니다. 컨트롤러에는 손쉽게 작업을 수행할 수 있도록 터치에 민감한 입력 장치가 포함되어 있습니다. ASYST SMIF 300 WMS의 웨이퍼 처리 기능은 여러 모듈을 통해 제공됩니다. WTM (Wafer Transfer Module) 은 다양한 작업 단계 사이에서 웨이퍼 디스크를 정확하게 이동하는 데 사용됩니다. 3축 자동 위치 지정 (3AX) 모듈은 3차원 포지셔닝 기능을 제공하는 반면, RST (Remote Sensor Tool) 모듈은 바코드 리더와 레이저 스캐너 사용을 지원합니다. VCM (Vacuum Control Module) 은 압력 및 진공 제어 기능을 모두 제공합니다. SMIF 300 WMS는 높은 정확성과 반복성으로 설계되어 안정적인 데이터와 제품 품질을 보장합니다. 모듈식 구성을 통해 특정 고객 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 또한, 독점 인터페이스를 통해 기존 시스템과 간편하게 통합할 수 있습니다. ASYST SMIF 300 WMS의 견고한 설계는 거친 환경에서 안정적인 운영을 가능하게 합니다. CE EMC, CE LVD 및 IEC 61000-4-2 안전 요구 사항을 준수하며 UL, CE 및 C-Tick 인증을 통과했습니다. 모듈식 구성과 LCD (Independent Diagnostic Function) 로 인해 시스템을 유지 관리하고 문제를 해결할 수 있습니다. SMIF 300 WMS 는 많은 업계의 까다로운 요구 사항을 충족할 수 있는 탁월한 유연성과 처리량을 제공하는 최첨단 WFER (Wafer Handler) 입니다. 고정밀 기능, 모듈식 구성 및 전용 인터페이스를 통해 ASYST SMIF 300 WMS는 정확하고 안정적인 웨이퍼 처리가 필요한 어플리케이션에 적합합니다.
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