판매용 중고 ASYST SFS 01CS #9301742

ASYST SFS 01CS는 반도체 산업의 프로세스 및 생산 장비에 사용되는 고급 웨이퍼 핸들러입니다. 반도체 칩 제조 공정에서 빠르고 정확한 웨이퍼 이동을 제공하도록 설계되었습니다. SFS 는 수동 및 자동 작업에 모두 사용할 수 있으며, 어셈블리, 테스트, 패키징, 클리닝 등 다양한 애플리케이션을 지원하도록 설계되었습니다. SFS 는 다양한 크기와 두께 (thickness) 의 웨이퍼 (wafer) 를 처리할 수 있도록 보다 다양한 각도를 지원하는 유연한 기울기 장비 설계를 갖추고 있습니다. 또한 최소한의 힘과 최소한의 에너지 소비로 작동할 수 있으며, 웨이퍼 (wafer) 손상을 방지하는 마찰 디자인이 낮습니다. 이 처리기는 인터 록 (Interlock) 및 ESD 보호 (ESD Protection) 와 같은 정교한 모니터링 및 안전 시스템과 통합되도록 설계되었습니다. SFS는 다양한 기능을 사용하여 CCD 비전, 듀얼 카메라 감지, 직접 드라이브 이동, 내장 컨트롤러 등의 최적의 작동을 보장합니다. 150 x 150mm 처리 영역으로 최대 8 인치 웨이퍼를 지원할 수 있으며 최대 30cm/초의 속도로 이동할 수 있습니다. 또한, 3 차원 마이크로 비전 정렬 내비게이션 시스템이 장착되어 있어 수 초 이내에 정확하게 정렬할 수 있습니다. 또한, SFS에는 웨이퍼 트레이 레벨을 조정하는 웨이퍼 로드 (wafer loading) 및 언로드 (unloading) 장치가 있습니다. 이를 통해 웨이퍼 로드 속도가 최대 15 웨이퍼/초에 도달 할 수 있습니다. 내장형 스캐너 (scanner) 와 센서 (sensor) 는 각 웨이퍼를 자동으로 인식하고 작업 성능은 프로세스 매개변수의 자체 조정에 의해 최적화됩니다. SFS는 2 "~ 8" 및 0.3mm ~ 4mm의 광범위한 웨이퍼를 처리하도록 설계되었습니다. 동기화 된 이동과 웨이퍼 손상을 방지하는 토크 컨트롤 머신 (torque control machine) 이 있습니다. 웨이퍼는 진공 밀봉 된 방법론으로 밀폐 된 주택 내부에서 운반되어 원치 않는 입자 오염을 최소화합니다. 결론적으로, SFS 01CS는 반도체 칩 제조 공정에서 빠르고, 정확하며, 비용 효율적인 제조를 위해 설계된 고급 웨이퍼 핸들러입니다. CCD 카메라 비전, 직접 드라이브 이동, 듀얼 카메라 감지, 토크 제어, 프로세스 매개변수 자체 조정 등 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 또한 SFS에는 입자 오염을 방지하고 정확한 웨이퍼 처리 (wafer handling) 를 보장하는 밀폐 된 주택이 있습니다.