판매용 중고 ASYST SBB 01CS #9301739

ASYST SBB 01CS는 다양한 반도체 처리 환경에 적합한 포괄적이고 효율적인 웨이퍼 처리 장비입니다. 개방형 아키텍처 및 자동화된 운영을 활용하여 웨이퍼 요구 사항을 처리합니다. 이 시스템은 최대 6 개의 전체 길이 200mm 및 4 개의 부분 길이 150mm 웨이퍼로 정확하고 안정적인 재료 처리를 제공하지만, 기존 로봇 또는 기계 시스템에 쉽게 통합 할 수 있도록 설계되었습니다. SBB 01CS 는 이중 웨이퍼 셔틀 장치를 사용하여 웨이퍼를 효율적이고 정확하게 처리 및 전송합니다. 이 기계는 2 개의 주요 상부 로더와 하부 로더 사이의 웨이퍼를 쉽게 이동할 수 있습니다. 또한, 정확한 정전기 클램핑 메커니즘을 사용하여 모든 방향에서 웨이퍼 캐리어의 안정적이고 재현 가능한 재료 처리를 보장합니다. 이 도구에는 교환 스테이션 (exchange station) 이 포함되어 있으며, 여기서 선택한 웨이퍼가 배치되고 원하는 스테이션으로 전송됩니다. 자산에는 자동화된 자가 진단 (self-diagnostics) 모델이 포함되어 있어 장비 성능을 모니터링하고 발생할 수 있는 모든 문제를 감지합니다. 이 자가 진단 시스템은 모니터, 컨트롤러, 센서를 포함하여 장치의 최대 25개의 중요 매개변수를 진단할 수 있습니다. 또한 기계에 온도 모니터 (Temperature Monitor) 및 가스 제거 모니터 (Gas Purge Monitor) 가 포함되어 있어 정확한 웨이퍼 온도, 습도 및 가스 수준을 유지 및 모니터링할 수 있습니다. ASYST SBB 01CS는 또한 사용자 친화적 인 GUI (Graphical User Interface) 를 제공하여 도구를 쉽게 작업할 수 있습니다. GUI 는 전체 자산 제어를 제공하여 사용자가 모델 작업을 모니터링, 제어, 사용자 정의할 수 있도록 합니다. 또한 프롬프트 기능 (prompting features) 이 포함되어 있어 wafer 처리 프로세스를 최적화하기 위해 장비 설정을 신속하게 조정할 수 있습니다. 마지막으로, SBB 01CS에는 다양한 액세서리 (옵션) 가 포함되어 있어 다용도와 효율성이 뛰어난 시스템입니다. 이러한 액세서리 중 일부에는 공랭식 시스템, 자동 로더, 조명 시스템, 비전 시스템 등이 포함됩니다. ASYST SBB 01CS는 반도체 처리 환경에 효과적이고 효율적인 웨이퍼 처리 장치입니다. 개방형 아키텍처와 자동화된 운영을 통해 기존 로봇 또는 기계 시스템에 쉽게 통합할 수 있습니다. 또한 자체 진단 컴퓨터, 온도 모니터 (Temperature Monitor), 가스 제거 모니터 (Gas Purge Monitor) 및 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 와 같은 고급 기능을 사용하여 사용자 정의 가능한 도구로 만들 수 있습니다. 또한, 다양한 액세서리 (accessory) 는 사용자가 웨이퍼 처리 프로세스에 대해 무제한 (limitless) 의 가능성을 제공하여 시스템이 모든 처리 요구에 맞게 정확하고 안정적임을 보장합니다.