판매용 중고 ASYST SAS 01CS #9301743

ASYST SAS 01CS는 소형 반도체 제작에 백엔드 프로세스 통합을 위해 설계된 멀티 플랫폼 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템은 고객 요구 사항에 따라 제품을 구성하고 재구성할 수 있는 유연성을 제공하는 완벽한 사용자 지정 (full customization) 을 위해 설계되었습니다. SAS 01CS는 Application Controller, Media Box 및 Robot의 세 가지 핵심 구성 요소로 구성됩니다. 이 제품은 동작 시퀀싱 (Motion sequencing) 기술을 기반으로 하여 지능형 웨이퍼 처리 솔루션을 통해 정확성과 생산성을 높일 수 있습니다. 응용 프로그램 컨트롤러 (Application Controller) 는 컴퓨터의 핵심으로, 로봇 활동의 지능과 제어를 제공합니다. 로봇 언어, 사다리 논리 등 다양한 프로그래밍 언어를 지원합니다. 이 제품은 정확성과 프로세스 신뢰성을 위한 가변 속도 도구 (variable speed tool) 와 로봇 작동을 최적화하는 유연성이 뛰어난 스케줄링 자산 (scheduling asset) 등 다양한 기능을 내장하고 있습니다. Media Box 구성 요소는 카세트와 기판을 저장하고 전달하는 데 사용됩니다. 4 방향 로케이터 (four-way locator) 를 장착하여 카세트를 정확히 배치하고 기판을 넣어 웨이퍼 포켓 (wafer pocket) 배열에 넣습니다. Robofox 및 Cassette-less 기판 처리를 지원할 수 있습니다. ASYST SAS 01CS 로봇은 정확한 반복 가능한 동작을 수행하도록 설계된 6 축 로봇 암입니다. 정밀 볼 스크류 구동 모델에 의해 보장되는 고속, 유연한 이동이 있습니다. 동작 제어는 2 축의 가속/감속 제어에 의해 도움이됩니다. 이 "로봇 '에는 또한 다양 한" 웨이퍼' 크기 와 설계 를 다룰 수 있는 여러 가지 도구 교환기 와 여러 가지 장치 탐지기 를 갖추고 있다. SAS 01CS는 신뢰성이 뛰어난 웨이퍼 핸들러로, 동적 24/7 프로세스 환경에서 사용하도록 설계되었습니다. 높은 생산성, 향상된 정확성, 다양한 반도체 프로세스와의 호환성, 사용자 친화적 설계로 인해 반도체 패브에 적합합니다.