판매용 중고 ASYST R150 9701 4314-01 #143140

ASYST R150 9701 4314-01 Wafer Handler는 반도체 제조 기계에서 웨이퍼를 전송, 공급 및 처리하도록 설계된 자동화 구성 요소입니다. 그것 은 회전식 "테이블 '" 시스템' 을 갖추고 있으며, 기판 및 기타 틀 에서 "반도체 웨이퍼 '를 정확 하게 배치 하고 제거 하는 데 필요 한 움직임 을 제공 한다. 직선 프레임은 코너 당 하나씩 한 쌍의 선형 레일과 4 개의 서보 구동 선형 액추에이터를 지원합니다. 이 배열은 웨이퍼로 안정적이고 정확한 이중 행 각도 전송을 제공합니다. 전달된 웨이퍼의 각도는 0.5 도의 해상도로 90도 이내에 조정할 수 있습니다. R150은 직관적 인 수업 펜던트를 통해 제어됩니다. Teaching Pendant에는 다양한 매개변수 및 데이터 액세스 도구가 있는 사용자 인터페이스 (User Interface) 가 있습니다. R150 Wafer Handler의 기능에는 웨이퍼 정렬, 웨이퍼 회전 및 뒤집기, 웨이퍼 조정 등이 있습니다. 이 시스템은 동작 (motion) 과 피드백 (feedback) 을 조합하여 정확한 해상도를 제공합니다. R150은 또한 선형 액추에이터 피드백을 사용합니다. 모든 선형 작동기는 1 미크론 해상도의 위치 피드백 데이터를 제공합니다. 이 고급 피드백 (Advanced Level of Feedback) 을 사용하면 다양한 웨이퍼 크기와 모양을 정확하게 정렬할 수 있습니다. R150은 온도가 10 ° C ~ 40 ° C, 상대 습도가 20% ~ 80% 인 주변 환경에서 작동 할 수 있습니다. 스테인레스 스틸 프레임 (Stainless Steel Frame) 은 대형 부품으로 제작되어 반도체 생산 라인과 같은 광범위한 먼지 및 부식 환경에서 내구성 있는 작동에 적합합니다. R150 웨이퍼 핸들러 (R150 Wafer Handler) 의 전체 설계는 원활한 작동을 보장하며 모든 웨이퍼가 안전하게 유지되므로 이동 또는 전송으로 인한 잠재적 인 손상을 방지합니다. 결과적으로, 대용량 반도체 제조 공정에 대한 신뢰할 수있는 솔루션입니다.