판매용 중고 ASYST / PST SPARTAN #9407144

ASYST/PST SPARTAN은 반도체 장치 생산의 효율성을 높이고 다운타임을 최소화하기 위해 설계된 웨이퍼 처리 장비입니다. 그것 은 안전 하게 "웨이퍼 '를 처리 하고 항상 질 을 유지 한다. 이 시스템은 프로덕션 라인의 여러 공구에서 실행되도록 구성될 수 있으며, 각 로봇은 공구 간에 웨이퍼를 정확하게 잡아, 운반, 전송합니다. PST SPARTAN (PST SPARTAN) 에는 비전 단위가 내장되어 있으며, 검색 알고리즘을 로드하여 도구 위치에 웨이퍼를 식별, 선택 및 배치할 수 있습니다. 수동 선택 및 배치 작업보다 높은 정확성과 반복 성을 제공합니다. 이 기계는 내부 진공 모듈 (vacuum module), 동작 컨트롤러 (motion controller) 및 입출력 인터페이스 (IO interface) 를 갖추고 있으며 턱에 웨이퍼가 있음을 정확하게 감지 할 수 있습니다. 이것은 섬세한 웨이퍼를 걸거나 긁을 수있는 잠재력을 제거합니다. 이 도구는 또한 고급 제어 알고리즘을 사용하여 빠른 동작을 가능하게합니다. 여기에는 가속 및 감속 램프, 동작 저크 제한 및 동작 매끄럽게가 포함됩니다. 이는 자산이 필요한 곳에서만 이동하고, 웨이퍼 손상 가능성을 줄여줍니다. ASYST SPARTAN 웨이퍼 처리 모델에는 인공 지능 (AI) 기능도 장착되어 있습니다. 이를 통해 다양한 유형의 웨이퍼 (wafer) 를 자동으로 인식, 조정하여 유형에 관계없이 올바른 처리를 보장합니다. 따라서 각기 다른 유형의 웨이퍼를 처리하기 위해 수작업 (manual intervention) 이나 장비의 광범위한 프로그래밍이 필요 없습니다. 또한 ERP 장치 (ERP Unit) 또는 자동화 소프트웨어 (Automation Software) 와 같은 컴퓨터 소프트웨어와 쉽게 상호 작용할 수 있습니다. 이렇게 하면 중앙 제어장치 (Central Control Station) 가 전체 생산 주기를 전자적으로 추적하고 모니터링하여 모든 작업이 예상 매개변수 (parameter) 내에 있는지 확인합니다. 전반적으로, SPARTAN 웨이퍼 처리 기는 생산 비용을 줄이고 반도체 장치 생산의 효율성을 높이기 위해 설계되었습니다. 내구성이 뛰어난 설계, 고급 AI (AI) 기능, 프로세스 성능 추적/모니터링 기능 등을 통해 와퍼를 정확하고 효율적으로 처리할 수 있습니다.