판매용 중고 ASYST / PST SPARTAN #9386363

ASYST/PST SPARTAN은 자동 및 수동 웨이퍼 처리 응용 프로그램을 돕기 위해 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 이 장비 에는 공정 을 촉진 하기 위한 "로봇 '과 기타 구성 요소 들 이 들어 있다. wafer pick and place, wafer bonding, wafer transfer 및 wafer singulation과 같은 프로세스에 사용할 수 있습니다. 자동 웨이퍼 처리 시스템에는 Scara 로봇, X-Y 카티시안 로봇 및 Delta 로봇의 세 가지 유형의 로봇이 있습니다. 이들 각각은 첨단 제어 기술을 갖추고 있으며, 직경 200 밀리미터까지 수백 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 스카라 (Scara) 로봇은 한 번에 여러 웨이퍼를 운반 할 수있는 반면, X-Y 카티시안 (X-Y cartesian) 로봇은 처리 중 웨이퍼의 정확한 위치를 보장하기 위해 미세 조정 할 수 있습니다. 델타 (Delta) 로봇은 다양한 로봇으로 다양한 프로세스를 처리 할 수 있습니다. 이 장치에는 3 개의 CCD 카메라가있는 비전 머신과 개체를 감지하는 조명 도구가 포함되어 있습니다. 이를 통해 에셋은 기판의 패턴과 모양을 인식하고 다양한 웨이퍼를 식별 할 수 있습니다. 또한 자동 웨이퍼 처리 모델의 백본 역할을합니다. 이 비전 (vision) 장비는 다운스트림 (downstream) 프로세스에 연결하기 전에 웨이퍼의 결함 수준을 평가할 수 있습니다. "로봇 '이나 시력" 시스템' 뿐 아니라 여러 가지 감각 기능 과 "센서 '도 있다. 여기에는 적외선 및 레이저 센서와 압력 센서가 포함됩니다. 감지 기능 (sensing function) 은 장치의 로봇 및 기타 컴포넌트와 관련하여 웨이퍼 위치에 관한 피드백 (feedback) 을 연산자에게 제공하는 데 사용됩니다. 이것은 웨이퍼를 처리 할 때 정확성과 효율성을 보장하기 위해 수행됩니다. 또한, 자동 웨이퍼 처리 장치에는 웨이퍼 배치 및 처리 장치도 있습니다. 이 장치에는 조정 가능한 기판 클램프와 선형 마이크로 액츄에이터 (micro-actuator) 가 포함되어 있습니다. 또한 마이크로 스위치 (micro switch) 와 기타 회로 기반 부품이 있어 신호를 감지하고 공구의 작동을 제어할 수 있습니다. 실제로 PST SPARTAN은 완전히 자동화되고 신뢰할 수있는 웨이퍼 처리 자산입니다. 이 모델은 유연성이 있으며, 고객의 구체적인 요구를 충족할 수 있도록 맞춤형으로 구성할 수 있습니다. 이 제품은 웨이퍼 전송 (Wafer Transfer) 및 기타 처리 작업에서 매우 정확하고 안정적인 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 이 장비는 포괄적인 안전 (Safety) 기능을 갖추고 있으며 자동 웨이퍼 처리를 위한 완벽한 솔루션을 제공합니다.