판매용 중고 ASYST / PST SPARTAN #9296848

ASYST/PST SPARTAN은 한 번에 최대 85 개의 웨이퍼를 운송하고 처리하도록 설계된 로봇 웨이퍼 핸들러입니다. 로봇은 3 개의 독립적 인 구성 요소 (웨이퍼 컨베이어, 핸들러 및 전송 장비) 로 구성됩니다. 컨베이어는 웨이퍼를 입력 위치에서 핸들러로 이동합니다. "핸들러 '는" 웨이퍼' 를 집어 올려 전송 "시스템 '으로 옮겨 출력장 으로 옮긴다. 출력 위치는 LS220 또는 AS8600 컨트롤러 또는 EDA 플랫폼일 수 있습니다. PST SPARTAN 핸들러는 바이즈 스타일 엔지니어링을 사용하여 웨이퍼를 고정합니다. 비즈 스타일 엔지니어링 (vise-style engineering) 에는 조정 가능한 손가락이 있으며, 와퍼를 운송 할 때 고정합니다. 전송 장치는 4 개의 전환 암으로 구성됩니다. 무기 는 "와퍼 '를" 핸들러' 로 이동 시켜 수송 중 에 "웨이퍼 '가 안전 하게 그대로 있게 한다. ASYST SPARTAN은 최대 8 인치 직경의 웨이퍼를 지원할 수 있습니다. 핸들러는 사용자 정의 툴링 및 웨이퍼 테스트 프로그램을 실행하도록 프로그래밍 될 수도 있습니다. 스파르탄 (SPARTAN) 은 개방형 (open-architecture) 컴퓨터가 부착되어 있어 프로세스 요구에 맞게 다양한 프로그래밍 변경을 수행할 수 있습니다. 하드웨어 외에도 ASYST/PST SPARTAN에는 직관적 인 소프트웨어 인터페이스 (Software Interface) 가 장착되어 있어 프로그래밍이 비교적 간단합니다. 이 소프트웨어에는 일반적으로 사용되는 공구 및 프로그램 라이브러리 (tooling and program) 와 공구 및 프로그램 사용자정의 공구 편집기 (tooling editor) 가 포함되어 있습니다. 이 소프트웨어에는 진단 그래픽과 온라인 도움말 머신도 있습니다. PST 스파르탄 (PST SPARTAN) 은 자가 진단 도구와 자동 복구 루틴 (automated recovery routine) 을 통해 안정성이 뛰어나 핸들러의 원활한 운영을 보장합니다. ASYST SPARTAN 은 3 년 보증 서비스를 제공하며 에너지 소비량이 적어 효율성이 향상됩니다. SPARTAN은 대용량, 효율적인 전송 및 웨이퍼 처리에 적합한 탁월한 선택입니다.