판매용 중고 ASYST / PST SPARTAN #9254166

ASYST/PST SPARTAN은 반도체 제조 공정 자동화를 위한 고성능 웨이퍼 핸들러입니다. 반도체 제작, 테스트, 조립 라인에 사용하도록 설계된 다목적 웨이퍼 처리 로봇으로, 웨이퍼, 주사위, 기타 부품을 처리하기 위해 사용됩니다. PST SPARTAN은 메인 프레임, 웨이퍼 픽/플레이스 터렛, OCI (Open Cassette Interface), OTI (Open Tube Interface), SACI (Stand-Alone Chamber Interface), SA (Arm-Based) 소프트웨어, AIA (Arm-Drive), Are-Drive), Are-Drive (Are), Are), Are-Drive (Are-Ple-Fe-Fe), Oce (Are-Fe), Oce-Ple-Fe), oce 메인 프레임은 통합 된 픽/플레이스 터렛과 5 축 로봇 암이있는 금속 프레임으로 구성됩니다. 웨이퍼 픽/플레이스 터렛은 다양한 웨이퍼 형상과 직경을 처리하기 위해 3 개의 챔버 인터페이스 (OCI, OTI 및 SACI) 로 구성됩니다. 5 축 로봇 암은 250mm/초를 통과 할 수있는 정밀 제어 X-Y-Z 포지셔닝 단계를 특징으로합니다. 독특한 z-마찰 드라이브와 직관적인 모션 컨트롤과 함께, 로봇 암은 +/-25 미크론 미만의 반복 정확도로 고정밀 픽/플레이스 이동을 수행 할 수 있습니다. AIA (Arm Interface) 는 로봇 암을 메인 프레임에 연결하고 로봇 암을 이동하는 데 필요한 제어 신호를 제공합니다. ADG (Arm Drive) 는 정확하고 반복 가능한 모션 컨트롤을 제공 할 수있는 소형 모터 마이크로 미터 드라이브입니다. SA (Sub-Assembly) 는 웨이퍼 픽을 인터페이스 및 제어하고 터렛을 배치하는 데 사용됩니다. 그것 은 "와퍼 '처리" 로봇' 을 생산 할 수 있는 일련의 전자 판 과 부품 들 로 구성 되어 있다. ASYST SPARTAN에는 패턴 개선기, 자동 조정기, 스텝 분석기, 실시간 모션 컨트롤러 등 다양한 소프트웨어 응용 프로그램이 포함된 Software Suite도 포함되어 있습니다. Windows 기반 시스템을 통해 운영자는 WF (Wafer Handling) 시스템을 빠르고 쉽게 구성하고 제어할 수 있으며, 장치 성능을 모니터링하고 평가할 수 있습니다. 스파르탄 (SPARTAN) 은 반도체 제작, 테스트, 조립 라인에서 웨이퍼 및 기타 부품을 처리하기 위한 안정적이고 유연한 솔루션을 제공합니다. 지능형 제어 머신과 정확한 모션 기능을 갖춘 ASYST/PST SPARTAN은 모든 반도체 산업에 이상적인 선택입니다.