판매용 중고 ASYST / PST SPARTAN #9247586

ASYST/PST SPARTAN은 반도체 산업을 위해 설계된 고성능 웨이퍼 핸들러입니다. 반도체 웨이퍼를 정확하게 이동, 회전, 운송하도록 설계된 자동화된 웨이퍼 (wafer) 수송 장비로, 최소한의 손상과 낮은 총 처리 시간을 제공합니다. PST SPARTAN 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 최대 12 개의 웨이퍼를 운반하여 특정 프로세스 스테이션에서 다른 프로세스 스테이션으로 정확하게 이동할 수 있습니다. 웨이퍼 (wafer) 전송 시스템은 두 단계를 사용하며, 양쪽 레벨에서 동시에 웨이퍼를 픽업하고 이동할 수 있습니다. 웨이퍼의 동작은 브러시리스 (Brushless) 선형 서보 기술을 사용하여 고정밀도, 신뢰성, 저크 및 저크 없는 위치를 제공합니다. 또한 웨이퍼 방향의 X, Y 및 R 축에서 정확하고 반복 가능한 동작을 보장하는 인코더 장치를 사용합니다. ASYST SPARTAN은 수명에 걸쳐 거의 유지 보수가 불가능하고 신뢰성이 높도록 설계되었습니다. "와퍼 '거품 이나 가장자리" 칩' 을 탐지 하고 "핸들러 '가 그" 웨이퍼' 를 따는 것 을 막는 견고 한 주사기 를 사용 하여 설치 하기 쉽다. 웨이퍼 핸들러에는 빠른 작업 설정을위한 소프트웨어와 복잡한 레시피를 신속하게 실행할 수있는 유연한 프로그래밍 (flexible programming) 이 있습니다. 스파르탄 웨이퍼 핸들러 (SPARTAN wafer handler) 에는 정전기와 스크래치로부터 웨이퍼를 보호하기 위해 정전기 방지, 스크래치 방지 쉴드가 장착되어 있습니다. 그 에 더하여, 주거지 는 먼지 입자 들 과 주변 환경 의 다른 부스러기 들 이 "웨이퍼 '표면 으로 끌어당겨 생명 을 연장 시키지 않도록 설계 되어 있다. 그렇다. 내결함성 (fault-tolerant) 툴이 내장되어 있어 문제가 발생하는 경우 문제를 파악, 분석, 해결하여 최고 수준의 성능과 오류 없는 (error-free) 작업을 보장할 수 있습니다. 또한 사용자 친화적 인 컨트롤과 간편한 액세스 및 작동을 위한 컬러 코딩 터치 스크린이 포함되어 있습니다. ASYST/PST SPARTAN 웨이퍼 핸들러는 반도체 산업의 인간 노동을 제거하고 생산성을 높이기 위해 설계되었습니다. 이 솔루션은 Wafer 전송 및 처리 작업을 위한 견고하고, 안정적이며, 비용 효율적인 솔루션입니다. PST 스파르탄 웨이퍼 핸들러 (PST SPARTAN Wafer Handler) 는 반도체 업계의 많은 생산 및 실험실 프로세스에 적합한 완벽한 솔루션입니다.