판매용 중고 ASYST / PST SPARTAN #9231864
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ASYST/PST SPARTAN은 M/A (Manufacturer's Automation) 요구 사항을 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 핸들러입니다. 이 장비는 높은 처리량과 성능을 갖춘, 매우 목표적이고 통제된 제조 자동화를 위해 설계되었습니다. PST SPARTAN은 조절 가능한 선형 수동 로더로 시작하여 4 단계 처리 시스템을 갖추고 있습니다. 이 기능을 사용하면 사용자가 선형 단계에 정확하게 웨이퍼를 배치할 수 있습니다. "웨이퍼 '를" 스테이지' 위 에 올려놓은 후 정밀 선택 및 배치 기능 으로 옮긴다. 이 기능을 사용하면 사용자가 자동으로 파퍼를 픽업 (pick up), 전송 (transport) 및 지정된 전송 플레이트 (transfer plate) 에 배치할 수 있습니다. 웨이퍼가 환승판에 있으면 ASYST SPARTAN의 클램 쉘 (clamshell) 형 지붕은 안전하고 안전한 다음 스테이션으로의 이동을 보장합니다. 조개 껍질 지붕은 또한 환경 오염으로부터 장치를 보호하는 데 도움이됩니다. 장치의 세 번째 단계는 프로세스 사이클입니다. 이 단계는 비동기 PLC (programmable logic controller) 를 사용하여 데이터 획득 및 웨이퍼 방향에 대한 지침과 함께 처리 주기를 설계합니다. 사이클은 ProView 머신 (ProView Machine) 에 의해 제어 및 모니터링됩니다. 이 머신은 웨이퍼 동작의 속도와 위치를 포함하여 웨이퍼 상태에 대한 정보를 제공합니다. 마지막 단계는 트레이 기반 언로드 도구입니다. 이렇게 하면 사용자가 자동으로 워퍼를 픽업 (pick up), 전송 (transport) 및 지정된 언로드 트레이에 설정합니다. 주기가 완료되면 LED 디스플레이는 주기가 성공적으로 완료되었음을 나타냅니다. 스파르탄 (SPARTAN) 은 다양한 웨이퍼 유형과 크기를 처리할 수 있으며, 전송 방향과 정확도를 제어합니다. 이 자산은 클램셸 지붕, ProView 모델, 선형 수동 로더, 조정 가능한 트레이 기반 언로드와 같은 혁신적인 기능을 통해 깨끗하고 오염이 없는 환경을 보장합니다. 높은 수준의 정확성과 성능으로 ASYST/PST SPARTAN은 빠르고, 효율적이며, 정확한 자동화를 위한 이상적인 도구입니다.
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