판매용 중고 ASYST / PST SPARTAN #9224855

ID: 9224855
EFEM Wafer sorter (2) Inputs / Outputs.
ASYST/PST SPARTAN은 제조 과정에서 반도체 웨이퍼를 조작하는 데 사용되는 웨이퍼 핸들러입니다. 그것 은 정확 하고 정확 한 "픽크 '와 장소 동작 이 필요 한" 반도체' 처리 장치 의 범위 에 사용 된다. PST SPARTAN은 고속 작동을 위해 설계되었으며 직경 4 ~ 9 인치의 다양한 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있습니다. 또한 3 ~ 12 인치에서 다양한 웨이퍼 직경을 처리 할 수 있습니다. ASYST SPARTAN은 진공 그립 메커니즘을 사용하여 장거리 픽업 및 배치 운동을 정확하게 합니다. SPARTAN 은 (는) 매우 자동화되어 있으며 맞춤식 운영 요구를 충족하는 다양한 구성 옵션을 제공합니다. 많은 상호 교환 가능한 구성 요소로 표준화를 위해 설계되었습니다. 이렇게 하면, 실행 중에 여러 작업을 쉽게 전환할 수 있습니다. ASYST/PST SPARTAN은 사전 정의된 작업 및 구성으로 사전 프로그래밍되어 설정 시간을 줄이고 프로세스를 최적화할 수 있습니다. 무결점 (Faultless Hit Rate) 과 차별화된 픽 앤 플레이스 (Pick and Place) 동작 기능을 갖추고 있습니다. PST SPARTAN은 사용하기 쉬운 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI) 및 그래픽 프로그래밍 언어 (GPL) 와 함께 제공됩니다. 따라서 최소한의 노력으로 장비를 빠르고, 쉽게 설치, 구성할 수 있습니다. ASYST SPARTAN (ASYST SPARTAN) 은 혹독한 환경에서 작동하도록 설계되었으며, 신뢰할 수 있는 작동을 보장하는 여러 기능이 포함되어 있습니다. 온도 조절 환경, 이중 진공 검사 밸브, 거부 트레이 및 부식 내성 부품이 장착되어 있습니다. 또한, SPARTAN에는 환경 제어 시스템, 로봇, 기타 지원 서브시스템과의 상호 작용을 위한 다양한 옵션을 제공하는 내장 주변 장치 시스템이 내장되어 있습니다. 안전은 위험 관리 기능이 통합 된 ASYST/PST SPARTAN에 내장되어 있습니다. 여기에는 직관적인 사용자 인터페이스, 과열 모니터링 장치, 로드 안전 센서 및 기계 기반 통신이 포함됩니다. 이러한 기능을 사용하면 시스템이 안전하고 호환되는 방식으로 작동할 수 있습니다. PST SPARTAN은 빠르고, 정확하며, 신뢰할 수 있는 작동을 제공하는 고효율 웨이퍼 핸들러입니다. 이 제품은 모든 반도체 제작 작업에 매우 적합하게 사용할 수 있습니다 (영문).
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