판매용 중고 ASYST / PST SPARTAN #293798452

ASYST/PST SPARTAN은 태평양 기술 제품 (Pacific Technical Products) 이 개발 한 웨이퍼 핸들러로 반도체 웨이퍼의 자동 처리에 사용됩니다. PST 스파르탄 (PST SPARTAN) 은 실험실 응용뿐 아니라 빠른 생산 및 프로토 타입 (prototyping) 영역에서도 사용하기 적합한 다용도 도구입니다. ASYST SPARTAN은 200mm 및 300mm 웨이퍼, 다중 카세트, 카세트리스 응용 프로그램 및 FOUP를 처리하도록 설계되었습니다. FOUP (Front Opening Unified Pod) 스토리지 박스로 웨이퍼를 전송하는 탑로드 로봇이 특징입니다. 또한 카세트에서 직접 로봇에 웨이퍼를 적재 할 수있는 자동 적재 스테이션 (auto-loading station) 이 있습니다. 또한 "스파르탄 '은" 로봇' 을 통합 처리 한 "시스템 '과 여러 가지" 응용프로그램' 에 맞게 조정 할 수 있는 모듈 식 설계 를 가지고 있다. 여기에는 단일 웨이퍼, 벌크 전송, 저장/검색, 스캔/정렬 및 공구 간 전송의 5 가지 독립 작동 모드가 포함됩니다. 단일 웨이퍼 (Single Wafer) 모드에서는 웨이퍼를 한 번에 하나씩 처리하며 처리 도구나 저장 포드 사이에서 로드, 미리 정렬, 이동할 수 있습니다. 대량 전송 (bulk transfer) 모드에서 로봇은 한 곳에서 다른 곳으로 한 번에 최대 5 개의 웨이퍼를 전송 할 수 있습니다. 이 모드는 빠른 처리량 또는 프로토타입을 위해 빠르게 웨이퍼를 처리하는 데 이상적입니다. 저장/검색 (Store/retrieve) 모드를 사용하면 저장 슬롯에 웨이퍼를 저장하고 필요할 때 필요 시 검색할 수 있습니다. 스캐닝/정렬 (scanning/sort) 모드에서는 웨이퍼를 여러 방향으로 스캔할 수 있으며 특정 기준에 따라 정렬할 수도 있습니다. 공구-공구 (tool-to-tool) 전송 모드를 사용하면 둘 이상의 다른 처리 공구 간에 웨이퍼를 효율적으로 이동할 수 있습니다. ASYST/PST SPARTAN은 웹 기반 원격 액세스를 지원하는 사용자 친화적 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI) 도 제공합니다. 즉, 사용자는 로봇의 진행 상황을 쉽게 모니터링하고 발생할 수 있는 모든 문제를 해결할 수 있습니다. 또한 GUI 는 웨이퍼 위치 정확도와 지능형 웨이퍼 처리 통계에 대한 최신 정보를 제공합니다. 전반적으로, PST SPARTAN은 반도체 웨이퍼의 자동 처리를 위해 안정적이고 사용자 친화적인 솔루션을 제공합니다. 모듈식 설계와 여러 운영 모드를 통해, 신속한 생산, 프로토타입 (prototyping), 실험실 응용프로그램을 위한 효율적이고 다양한 도구를 제공합니다.