판매용 중고 ASYST / PST SPARTAN #293766475
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ASYST/PST SPARTAN은 자동 반도체 운송 및 운영에 사용되는 웨이퍼 핸들러입니다. 여러 개의 카세트 처리를 지원하는 닫힌 프레임 디자인입니다. PST SPARTAN은 최대 속도 990mm/s 및 최소 속도 75mm/s를 포함하여 다양한 컨베이어 속도를 제공하여 광범위한 어플리케이션을 제공합니다. 또한 다양한 프로세스의 요구를 충족하는 다양한 전송 (transfer) 구성이 있습니다. ASYST SPARTAN의 가장 주목할만한 기능은 직경이 최대 200mm 인 웨이퍼를 처리 할 수있는 기능입니다. 이 장치는 수준을 변경하는 동안 과도한 가속도 (acceleration) 또는 감속 (deceleration) 을 방지하기 위해 통합 연동 메커니즘으로 설계되었습니다. 스파르탄 (SPARTAN) 의 청소실 안전 디자인은 변성 필터 인터록, 외부 조명 및 진동 감쇠 기능을 제공하여 최고 수준의 안전 및 성능을 보장합니다. ASYST/PST SPARTAN은 인상적인 전송 속도 및 기능 외에도 다양한 자동화 기능을 제공합니다. 이 시스템은 수동 및 자동 작업을 위해 CNC (Remote Computing and Networked Facility Commands) 로 설계되었습니다. 또한 기계 제어 (Machine Control), 프로세스 작업 (Process Operation) 및 기타 기능뿐만 아니라 머신 비전 (Machine Vision) 작업을 수행할 수 있으므로 유연성과 자동화가 향상됩니다. 또한 PST SPARTAN 은 RS232, RS485, Ethernet 등 다양한 통신 프로토콜을 제공하여 안전하고 안정적인 데이터 전송을 지원합니다. 이 시스템은 모션 인코더, 온도 센서, 압력 센서 (pressure sensor) 를 포함한 다양한 내부 감지 기술로 설계되었으며, 다양한 외부 입력 및 출력을 제공합니다. 마지막으로, ASYST SPARTAN은 최적화된 제어 아키텍처와 사용자 친화적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 통해 손쉽게 작동, 모니터링, 조정할 수 있도록 설계되었습니다. 표준 (Standard) 구성과 프리미엄 (Premium) 구성으로 제공되며, 후자는 향상된 성능, 안전, 신뢰성 및 확장된 보증 범위를 제공합니다. 스파르탄 웨이퍼 핸들러 (SPARTAN Wafer Handler) 는 다양한 애플리케이션에 탁월한 자동화 및 처리량을 제공합니다.
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