판매용 중고 ASYST / PST SPARTAN #293762279

ASYST/PST SPARTAN은 반도체 웨이퍼의 전송, 처리 및 테스트를 용이하게하도록 설계된 반도체 웨이퍼 핸들러입니다. 사용자에게 친숙한 설계와 포괄적인 기능을 갖춘 PST SPARTAN은 Wafer Processing 요건에 이상적인 선택입니다. ASYST SPARTAN은 완전히 자동화되고 신뢰할 수 있도록 설계되었습니다. 그 동작 의 핵심 은 "로봇 '암 의 신속 하고 부드러운 움직임 으로서, 그 들 의 초기 원산지 에서" 웨이퍼' 를 집어 들고, "베이킹 트레이 '나 배달소 에서" 웨이우' 를 타고 목적지 로 이동 시킨다. 로봇 암은 사전 프로그래밍 된 프로파일을 따르도록 프로그래밍되었으며, 복잡한 전송 및 테스트를 위해 최대 3 백, 60 도의 모션을 처리 할 수 있습니다. "로봇 '은 오염 의 위험 을 줄이기 위해 입자 억제 장치 를 갖추고 있다. 스파르탄은 최대 16 개의 웨이퍼 카세트를 처리 할 수 있으며, 각각 최대 12 개의 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 각 "카세트 '에는 자체 의 독립" 센서' 가 장착 되어 있으며, 각 "카세트 '의 회전 속도, 압력, 주위 온도 및 각도 의 변화 로 인하여" 웨이퍼' 의 정확도 가 손상 되지 않도록 도와 준다. 이 고급 감지 기술은 사양 외 카세트를 제한하도록 설계되었습니다. 운영 라인을 원활하고 효율적으로 실행하기 위해 ASYST/PST 스파르탄 (ASYST/PST SPARTAN) 은 정전 또는 워크플로우의 다른 중단 시 페일오버가 가능합니다. 또한 사용자 기본 설정에 따라, 소형 (small) 또는 대형 (large) 배치로 웨이퍼를 처리하도록 프로그래밍할 수 있습니다. PST 스파르탄 (SPARTAN) 은 생산률, 수익률 및 레시피 기록을 추적하기 위해 고급 데이터 분석 도구를 자랑하며, 사용자는 실시간으로 쉽게 작업 모니터링을 수행할 수 있습니다. ASYST 스파르탄 (ASYST SPARTAN) 은 인라인 성능 외에도 예상치 못한 다운타임을 방지하고 수명을 늘리기 위해 설계된 일련의 유지 보수 제어 시스템 (Maintenance Control System) 을 갖추고 있습니다. 일상적인 유지 보수 알림, 자가 진단 (self-diagnostics) 및 데이터 백업 시스템은 SPARTAN의 효율성을 극대화하기 위해 설계된 기능 중 하나입니다. 종합적인 기능 목록의 ASYST/PST SPARTAN 웨이퍼 처리기는 자동화 및 생산 요구에 완벽한 선택입니다. 안정적이고 일관된 성능을 제공하는 PST SPARTAN은 모든 반도체 생산 라인에 이상적인 선택입니다.