판매용 중고 ASYST / PST SPARTAN #293671321

ASYST/PST SPARTAN은 자동 반도체, 평면 패널 디스플레이 및 기타 고급 기술 어플리케이션을 위해 설계된 고성능, 다기능 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 제품은 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기를 처리할 수 있으며, 고속 (High Speed) 기능과 고급 대용량 어플리케이션을 위한 정밀성 및 반복 기능을 제공하는 고급 기능으로 설계되었습니다. PST SPARTAN은 호스트 모듈, 회전 목마 모듈, 프런트 엔드 컨베이어 및 백엔드 컨베이어의 4 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 호스트 모듈은 시스템의 다른 모듈 간의 자동화 제어 및 통신을 담당하며 PLC (programmable logic controller) 를 포함합니다. "캐러셀 '" 모듈' 은 "웨이퍼 '를 저장 하고 있으며 한 번 에 최대 50 개 의" 웨이퍼' 를 수용 할 수 있다. 프런트 엔드 컨베이어 (front-end conveyor) 는 잠재적 인 재밍을 감지하는 센서와 함께 웨이퍼를 빠르고 정확하게 움직이며, 백엔드 컨베이어는 시간당 최대 600 웨이퍼 (wafer) 의 속도로 웨이퍼를 언로드하도록 설계되었습니다. ASYST SPARTAN에는 빠른 웨이퍼 처리가 가능한 여러 가지 고급 기능이 있습니다. 통합 비전 (Integrated Vision) 장치를 사용하면 프런트엔드 컨베이어에 대한 실시간 웨이퍼 조작과 지침이 가능하며, 사용자 지정 비전 검사는 프로세스 내 검사 및 분석을 위해 기계에 통합 될 수 있습니다. 이 도구는 또한 시각적 및 기능적 표면 특성화에 대한 통과 (pass-through) 유형 검사를 수행 할 수 있습니다. 또한, 회전 목마 모듈은 프로세스 중에 비디오를 병렬 로드 및 언로드할 수 있도록 설계되었습니다. 스파르탄 (SPARTAN) 의 움직이는 부분은 리드 스크루 (lead screw) 와 정밀 볼스크류 (precision ballscrew) 의 조합에 의해 구동되어 부드러운 움직임과 높은 수준의 정확도를 달성합니다. 고급 냉각 자산 (Advanced Cooling Asset) 을 통해 전체 모델이 좁은 온도 범위 내에서 작동하여 성능, 안정성, 수명을 최적화할 수 있습니다. ASYST/PST SPARTAN은 유연성이 뛰어나고 확장 가능한 장비로, 한 번에 최대 200 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 여러 가지 고급 기능을 통해 대용량, 자동 반도체, 평면 패널 디스플레이 (flat panel display) 및 기타 첨단 기술 생산에 적합합니다.