판매용 중고 ASYST / PST SPARTAN #293659688

ASYST/PST SPARTAN은 광범위한 웨이퍼 처리 응용 프로그램을 위해 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 장비는 직경 4 ~ 8 인치 범위의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며 초당 최대 25um 속도에서 최대 1000 개의 웨이퍼를 처리 및 처리 할 수 있습니다. PST SPARTAN은 "브리지 (bridge)" 시스템을 사용하며, 이 시스템은 정확한 위치 지정을 위해 정확하고 반복 가능한 동작을 제공하는 두 세트의 처리 암 사이에 웨이퍼를 연결합니다. 처리 암은 공기 실린더에 의해 구동되며, 빠른 위치 반복 성과 고효율 작동을 제공합니다. ASYST SPARTAN에는 웨이퍼가 손상되지 않도록 보호하기 위해 몇 가지 안전 기능이 장착되어 있습니다. ··· 공기 "실린더 '는 무기 가 부분 이나 환경 에 접촉 하지 못하게 하기 위하여 최대 운동 범위 를 초과 할 수 없다. 또한, 이 장치는 접촉하기 전에 암의 움직임을 중단함으로써 잠재적 인 충돌을 감지 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 부품의 파괴나 변형을 감지하여 웨이퍼 (wafer) 처리를 위해 안정적이고 안전한 환경이 될 수 있습니다. 스파르탄에는 컨트롤러와 컴퓨터 인터페이스 (computer interface) 가 장착되어 있어 쉽게 프로그래밍하고 설치할 수 있습니다. 컨트롤러는 암에 대해 최대 8 세트의 위치 제어 (positional control) 를 동시에 제어할 수 있으며, 안전한 작동을 위해 내장된 SPC 보안 도구를 포함합니다. 컴퓨터 인터페이스에는 안전 종료 (Safety Shutdown) 기능도 탑재되어 있습니다. 브리지 자산 외에도 ASYST/PST SPARTAN에는 인라인 시각적 검사를 위해 3 "줌 렌즈가있는 전방 방향 카메라가 장착되어 있습니다. 이 카메라는 광도 (Light Intensity) 및 색상 보상 (Color Compensation) 기능을 제공하여 처리 중에 샘플을 안정적으로 검사할 수 있습니다. 이 카메라에는 거친 산업 조명을 이용할 수없는 조명 조건을위한 LED 광원이 있습니다. PST 스파르탄 (SPARTAN) 은 자체 진단 및 느리게 움직이는 부품의 감지 (detection) 로 인해 유지 관리가 쉬워 운영자에게 가능한 문제를 경고 할 수 있습니다. 모델의 결함이 있는 경우 ASYST 스파르탄 (ASYST SPARTAN) 진단 장비의 계층화된 접근 방식을 통해 유지 보수가 쉽고 제품 수명이 늘어납니다. 스파르탄 (SPARTAN) 은 정확성과 신뢰성으로 인해 웨이퍼 처리 어플리케이션에 가장 적합합니다. 다양한 안전 기능, 컴퓨터 인터페이스, 앞쪽 카메라, 손쉬운 유지 관리 기능을 통해 모든 운영 라인에 이상적인 wafer-handling 시스템입니다.