판매용 중고 ASYST / PST SPARTAN #293652726

ASYST/PST SPARTAN은 높은 정확성과 신뢰성이 필요한 어플리케이션을 지원하도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. PST SPARTAN은 로봇 (모터 구동 셔틀) 과 핸들러 (처리 실, 전원, 컨트롤 및 센서) 를 분리하는 두 가지 변형으로 제공됩니다. 이 제품 범위는 낮은 프로세스 (< 100C) 에서 높은 온도 (> 400C) 까지 다양한 프로세스와 온도에 적합하며, 다단계 웨이퍼 로드 및 언로드, 웨이퍼 정렬, 웨이퍼 백사이드 클리닝 등 다양한 기능이 제공됩니다. ASYST SPARTAN 웨이퍼 핸들러의 디자인은 작고 효율적입니다. 고정 처리 장치 (Stationary Handler Base) 와 업그레이드 및 설치가 용이한 유연하고 모듈식 디자인이 특징입니다. 모듈식 하드웨어 설계를 통해 구조적 무결성 (Structural Integrity) 및 장기 유지 관리 프로그램 (Long-term Maintenance Program) 을 사용할 수 있습니다. 또한 제어 아키텍처 (control architecture) 는 동작, 프로세스, 센서 서브시스템의 강력한 통합을 제공하여, 프로세스 동안 높은 수준의 정확성과 반복성이 필요한 애플리케이션에 적합한 솔루션입니다. 스파르탄 웨이퍼 핸들러 (SPARTAN wafer handler) 는 300mm 및 200mm 웨이퍼를 포함한 다양한 기판 및 크기와 다양한 특수 기판을 사용할 수 있습니다. 다이 배치, 픽업 및 정렬과 같은 다양한 다이 처리 작업을 지원합니다. 이것은 진공 장비 (vacuum equipment) 의 사용과 웨이퍼 여행 회전 (wafer travel carousel) 플랫폼의 구현을 통해 달성됩니다. 이 시스템은 셔틀에서 웨이퍼 (wafer) 의 위치를 모니터링하고, 정밀도로 핸들러 (handler) 베이스에 피드백하는 클로즈드 루프 (closed-loop) 제어 장치를 사용하므로 높은 정확성과 신뢰성을 제공하도록 설계되었습니다. 인력과 장비에 대한 피해 위험을 최소화하는 고급 안전 (Advanced Safety) 기능을 사용할 수 있습니다. 이러한 안전 기능에는 제한 스위치, e-stop 버튼 및 3 차원 위치 안전 머신이 포함됩니다. ASYST/PST SPARTAN 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 광범위한 애플리케이션을 지원하며 완벽한 웨이퍼 처리 지원을 보장합니다. 이러한 기능을 통해 다양한 기판, 크기, 온도, 그리고 반복 가능한 정확성과 신뢰성을 갖춘 안정적인 웨이퍼 (wafer) 전송 도구를 처리 할 수 있습니다. 또한 사용 및 설정이 간단하여 고품질, 비용 효율적인 웨이퍼 (wafer) 처리 시스템을 원하는 고객에게 적합합니다.