판매용 중고 ASYST / PST SPARTAN #293652724

ASYST/PST SPARTAN은 반도체 제작 작업에 사용하도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 또한 웨이퍼 로드, 언로드, 클리닝, 정렬, 절단을 위한 다양한 자동 기능이 장착되어 있습니다. 이 장치는 수동, 반자동 및 완전 자동화 모드에서 사용할 수 있습니다. 수동 모드에서는 핸들러 캐리어 암 (handler carrier arm) 을 작업공간 내의 모든 위치로 이동할 수 있습니다. 웨이퍼 캐리어 (wafer carrier) 가 지원 플레이트에 잠겨 있고, 장비는 어셈블리 서피스에 대해 자동으로 웨이퍼 (wafer) 를 감지하고 정위합니다. 대형 (300mm), 소형 (50mm) 및 세라믹 (세라믹 재료) 웨이퍼를 지원하도록 설계되었습니다. 시스템은 특수한 고속 로더 (High Speed Loader) 와 언로더 (Unloader) 를 사용하여 한 번에 최대 3개의 웨이퍼를 로드하고 언로드할 수 있습니다. 로더 및 언로더를 자동화하여, 웨이퍼 방향과 간격을 유지하면서 처리량을 최적화할 수 있습니다. 이 처리기는 또한 초음파 및 화학 청소 공정을 사용하여 처리 전에 웨이퍼에서 표면 오염 물질을 제거하는 웨이퍼 클린 스테이션 (wafer clean station) 을 특징으로합니다. 웨이퍼 표면에서 입자를 제거하기 위해 탄화수소 진공 지팡이가 사용됩니다. 그런 다음 "웨이퍼 '가 질소" 플라즈마 클리너' 를 통과 하여 표면 을 더욱 정제 하여 최상 의 처리 결과 를 얻는다. 사용 가능한 다른 작업으로는 핸들러에서 웨이퍼를 정확하게 정렬하는 레이저 이미지 인식, 표준 및 사용자 정의 모양으로 노치를 자르는 블레이드 커터 (blade cutter), 웨이퍼에 압력을 가하는 압력 캠 (pressure cam) 이 있습니다. PST SPARTAN 웨이퍼 핸들러는 안정적이고 견고한 설계로 설계되어 안정성을 보장합니다. 지원 플레이트에 최대 150 개의 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 또한 웨이퍼 처리 오류를 제한하는 4 단계 안전 잠금 장치가 포함되어 있습니다. 또한 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 에는 추적 및 분석을 위해 컴퓨터에 인쇄하거나 업로드할 보고서 및 작업 파일이 포함되어 있습니다. 요약하면, ASYST SPARTAN은 높은 처리량 생산 운영을 위해 설계된 고급 웨이퍼 핸들러입니다. 또한 웨이퍼 로드, 언로드, 클리닝, 정렬, 절단을 위한 다양한 자동 기능이 장착되어 있습니다. 이 장치는 4 단계 안전 잠금 (Safety Lock) 기계로 구성되었으며 웨이퍼 클린 스테이션, 레이저 이미지 인식 도구, 블레이드 커터 및 압력 캠이 포함되어 있습니다. 이 장치는 대형 (300mm), 소형 (50mm) 및 세라믹 (세라믹 재료) 웨이퍼를 지원할 수 있으며, 가장 까다로운 반도체 제작 환경에서 사용하기 위해 신뢰할 수있는 안전 기능을 통합합니다.