판매용 중고 ASYST / PST DP 4200si INX #178997
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ASYST/PST DP 4200si INX는 최대 300mm의 전송, 진공 픽, 프로브 및 분리 된 웨이퍼를 위해 설계된 완전 자동화 된 웨이퍼 핸들러입니다. TEL/PST Prober 반도체 테스트 장비 제품군의 일부로, 자동 반도체 장치 테스트를위한 비용 효율적인 솔루션을 제공하기 위해 개발되었습니다. PST DP 4200si INX는 모듈식 설계로, 전송 데크, 프로버 구성 및 서보 스테이지가 모두 상호 교환 가능하며 확장 가능합니다. Touchscreen 인터페이스와 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 쉽게 구성하고 사용할 수 있도록 설계되었습니다. 전송 데크 (Transfer Deck) 는 독립적으로 구동되는 선형 모터 (Linear Motor) 배열을 사용하여 최대 5m/min의 속도로 별도의 프로버 데크 (Prober Deck) 사이에서 빠르고 정확하게 웨이퍼를 이동합니다. 최대 3 개의 카세트 방향, 독립형 컨택터, 실리콘 팔레트 및 Nano Sensor에 대한 유연한 로드 및 언로드 옵션이 있습니다. 이 프로버 (Prober) 는 10 개의 독립 모터 제어 채널이 장착 된 진공 픽 전송 헤드 (vacuum pick transfer head) 를 특징으로하여 정확도를 극대화하고 다운타임을 최소화합니다. 또한 내부 모니터 시스템 (in-situ monitor system) 을 통해 실시간으로 성능을 모니터링하고 조정하고 정확한 웨이퍼 정렬을 제공합니다. 또한 정확한 웨이퍼 배치를 보장하기 위해 4 축 웨이퍼 정렬 시스템이 장착되어 있습니다. LED 조명 시스템은 균일 한 광원과 명확한 검사 이미지를 보장하도록 설계되었습니다. ASYST DP 4200si INX는 수직 및 수평 프로브, 공압 프로브, 수동 및 자동 프로브 카드 등 다양한 프로브 플랫폼 및 구성을 제공합니다. 각 Prober Deck을 기능적으로 구성하여 생산성을 최적화하고 개별 테스트 어플리케이션을 수용할 수 있습니다. 모듈식 플랫폼은 까다로운 운영 환경을 위한 유연성과 확장성을 제공합니다. DP 4200si INX는 효율적이고 안정적인 작동과 간편한 유지 관리를 위해 설계되었습니다. 서비스/유지 보수 활동에 대한 원격 지원 (옵션) 과 운영자 보호를 극대화하는 강력한 안전 체계를 제공합니다 (영문). 또한, 업계 표준 및 기존 테스트 품질 지침을 준수하도록 설계되었습니다. 이는 반도체 업계의 다양한 웨이퍼 처리, 조사, 테스트 애플리케이션에 적합합니다.
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