판매용 중고 ASYST / PST DP 3200si #134106
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ASYST/PST DP 3200si 웨이퍼 핸들러는 반도체 제조 응용 분야에 사용하도록 설계된 고정밀, 고속 웨이퍼 픽 및 플레이스 머신입니다. 이 기계는 다양한 방향 및 구성에서 최대 300mm 직경의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 이 기계는 매우 낮은 대기 시간 XY gantry 설계를 통해 빠르고 정확하게 웨이퍼를 배치 할 수 있습니다. 또한, PST DP 3200si는 다양한 고성능 프로세스 제어 알고리즘을 갖추고 있으며, 뛰어난 웨이퍼 처리 정밀도 및 프로세스 처리량을 제공합니다. ASYST DP 3200si는 독특하고 높은 트래버스, 낮은 관성 간트리 디자인을 특징으로합니다. 이 낮은 관성 간트리 (gantry) 설계를 통해 웨이퍼의 빠르고 정확한 위치를 지정하여 총 주기 시간을 줄이고 전반적인 프로세스 정밀도를 향상시킬 수 있습니다. 또한, 이 기계는 독점적 인 힘 피드백 (force-feedback) 장비를 갖추고 있어 웨이퍼 배치 작업을 지속적으로 정렬하고 추적할 수 있습니다. 이 시스템은 라미네이션 (lamination), 캠버 (camber) 및 기울이기 (skew) 와 같은 요소를 정확하게 설명하며 뛰어난 웨이퍼 처리 정확도를 제공합니다. 최적의 웨이퍼 처리 성능을 보장하기 위해 DP 3200si에는 Intelligent Auto Tuning 프로세스 및 Shadow Compensation Process 등 여러 독점 프로세스도 있습니다. ASYST/PST DP 3200si (ASYST/PST DP 3200si) 는 고급 제어 알고리즘과 온보드 진단 기능을 제공하여 장치의 성능 및 작동에 대한 뛰어난 제어 기능을 제공합니다. 온보드 진단 프로그램 (Onboard Diagnostics) 을 통해 기계는 성능, 잠재적 문제의 경고 연산자를 지속적으로 모니터링할 수 있습니다. 또한 CIMData 데이터베이스에 공구를 연결하여 CIMData 플랫폼을 통해 원격 관리를 수행할 수 있습니다. 이 CIMData 데이터베이스 링크를 사용하면 자산 성능에 대한 원격 모니터링 및 분석을 수행할 수 있으며, 개선된 작업을 위한 지속적인 피드백 (feedback) 및 실행 가능한 통찰력을 제공합니다. 마지막으로, PST DP 3200si는 다양한 안전 기능을 제공하여 모델의 안전, 보안, 효율성을 보장합니다. 이 기계에는 표준 안전 센서, 인터록 (interlock) 및 잠재적 문제의 연산자에게 경고하는 오류 표시기가 포함되어 있습니다. 또한, 장비는 특정 안전 규정 (개별 시설) 을 충족하도록 구성 될 수 있습니다. ASYST DP 3200si (ASYST DP 3200si) 는 기계의 견고한 설계 및 구성과 결합하여 가장 까다로운 어플리케이션에서도 뛰어난 웨이퍼 처리 품질과 성능을 보장합니다.
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