판매용 중고 ASYST / PST DP 2125-150si #9089970

ASYST/PST DP 2125-150si Wafer Handler는 모든 유형의 다이 사이즈로 중대형 반도체 웨이퍼를 처리하도록 설계된 고성능 자동 장비입니다. 이 시스템은 반도체 웨이퍼 (wafer) 의 처리량을 극대화하면서 손상 위험을 최소화할 수 있도록 설계되었습니다. PST DP 2125-150si는 저압, 진공 클램핑 기술을 사용하여 직경 3 인치 이상 작은 웨이퍼를 안전하게 처리합니다. ASYST DP 2125-150si는 고급 웨이퍼 그립 기술을 사용하여 최대 100mm 직경의 웨이퍼를 처음부터 끝까지 안전하게 전송합니다. 웨이퍼 핸들러에는 최고 수준의 프로세스 조건을 유지하기 위해 웨이퍼 클리닝 장치 (wafer cleaning unit) 를 연결하기위한 오 (aux) 포트가 있습니다. 이 장치는 또한 웨이퍼의 정확하고 일관된 움직임을 제공하는 3 축 데카르트 (Cartesian) 동작을 갖춘 낮은 듀티 사이클 클램핑 로봇을 갖추고 있습니다. DP 2125-150si는 정교한 모션 제어 프로그램을 사용하여 다른 모든 웨이퍼 처리 단계와 완벽하게 통합합니다. 이 기계에는 클램핑 (clamping), 방향 설정 (orienting) 및 웨이퍼 전송 (transfer of wafer) 동안 뛰어난 정확도와 정밀도를 위해 웨이퍼를 스캔하는 웨이퍼 방향 및 인덱싱을위한 고급 컨트롤러가 통합되어 있습니다. ASYST/PST DP 2125-150si는 처리 및 처리 작업에 쉽게 통합할 수 있도록 유연한 웨이퍼 제어 도구를 사용하여 설계되었습니다. 이 자산은 또한 잔해 방지를위한 환경 모니터링 모델 (Environmental monitoring model) 과 내장된 간섭계 (interferometer) 를 통해 모든 프로세스 완료 과정에서 웨이퍼 동작을 적절히 정렬할 수 있습니다. PST DP 2125-150si는 비용 효율적이고 안정적인 자동화 솔루션입니다. 모듈식 설계 및 확장성을 갖춘 이 제품은 기존/고급 반도체 제작 작업에 모두 적합합니다. 저비용과 검증된 신뢰성을 결합하여 ASYST DP 2125-150si는 중대형 웨이퍼 처리 작업을 위한 완벽한 선택입니다.