판매용 중고 ASYST / PST 1001657 #293601030
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ASYST/PST 1001657 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 반도체 웨이퍼 및 테이프 캐리어 패키지를 포함한 다양한 모양의 기판을 수용하고 그룹화하는 자동화된 고속 결합 솔루션입니다. 이 결합은 고속 결합 처리 (high-speed bond processing) 를 허용하면서 본드 매개변수를 제어하여 반복 가능하고 신뢰할 수있는 결과를 유지하도록 설계되었습니다. 기계는 사용되는 기판 유형에 따라 시간당 6 ~ 150 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. PST 1001657은 Windows 기반 그래픽 사용자 인터페이스에서 실행되므로 시스템 설정 및 제어가 간편합니다. 이 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 공압 및 모터 컴포넌트의 조합을 사용하여 웨이퍼를 결합 위치로 이동합니다. 웨이퍼 본드 헤드는 FOUP (Front Opening Unified Pod) 를 사용하여 적절한 온도, 압력 및 최적화된 정렬을 위해 제어 된 환경을 제공하도록 설계되었습니다. ASYST 1001657's vision system (ASYST 1001657 비전 시스템) 을 사용하면 채권 프로세스 전/중에 웨이퍼의 정렬을 모니터링하고 확인할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 잘못된 정렬과 그에 따른 재작업을 방지하여 주기 시간을 단축하는 한편, 오프셋 (off-set) 및 기울기 (tilt) 정보를 캡처하고 이 데이터를 로그 파일에 기록하여 각 웨이퍼의 본드 정확도를 추적할 수 있습니다. 1001657 (1001657) 은 안전하고 효율적인 방식으로 작동하도록 여러 가지 안전 기능으로 설계되었습니다. 이러한 기능에는 압력 감지 스위치, mis-alignment 스위치, interlock 및 position monitored stop이 포함됩니다. 사용자는 파일 및/또는 프로그램/매개 변수 설정 전송을 위해 이더넷, GSM/HSI 및 USB를 사용하여 ASYST/PST 1001657과 통신할 수 있습니다. 이 기계는 또한 버퍼 위치에 할당할 수있는 총 8 개의 웨이퍼 입력/출력 (wafer input/output) 영역을 갖추고 있어 사용자에게 더 큰 유연성을 제공합니다. 다중 처리 솔루션 연결, 추가 웨이퍼 센서, 웨이퍼 그리퍼, aux/전원 공급 장치 등 다양한 옵션이 있습니다. PST 1001657 은 다양하고 안정적인 솔루션으로, 처리 속도와 정확성이 요구되는 애플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.
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