판매용 중고 ASYST / PST 100 #27562

ASYST/PST 100 웨이퍼 핸들러 (ASYST/PST 100 Wafer Handler) 는 자동화된 반도체 제작 환경에서 웨이퍼를 한 프로세스 포인트에서 다른 프로세스 포인트로 효율적으로 이동할 수 있도록 설계된 고속 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템은 산업 등급 전동 플랫폼, 하중 포트, 도구 프레임 및 전기 컨트롤러 (Electrical Controller) 로 구성됩니다. 동력 플랫폼은 360도 회전 (rotation) 이 가능하여 장치의 모든 축에 액세스 할 수 있습니다. 플랫폼에서 로드 (load) 포트는 공구 프레임에 연결되어 웨이퍼 처리를 위해 차폐된 작업 공간을 제공합니다. 전기 컨트롤러 (Electrical Controller) 는 동력 플랫폼, 로드 포트 및 기타 주변 장치 간의 자동 통신을 용이하게 합니다. 전동식 플랫폼 (motorized platform) 은 효율적인 기어링 (gearing) 을 사용하여 한 위치에서 다른 위치로 쉽게 이동할 수있는 웨이퍼를 사용하는 반면, 로드 포트는 오염 및/또는 전기 간섭을 방지하는 고도로 차폐 된 환경을 제공합니다. 플랫폼은 모든 전송 요구를 충족하기 위해 0 - 200mm/s 범위의 조정 가능한 속도를 갖습니다. 예를 들어, 고속 (high-speed) 프로세스 단계가 있을 때 고속 전송이 가능하며, 섬세한 프로세스가 필요할 때 느린 속도를 선택할 수 있습니다. 조정 가능한 속도 기능은 PST 100의 핵심 요소로, 사용자는 시스템을 자체 프로세스에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. ASYST PST100 (ASYST PST100) 의 공구 프레임은 한 쌍의 잠금 클램프 (clamps) 에 의해 플랫폼에 고정되며 다양한 엔드 이펙터 (end-effector) 장치를위한 표준 인터페이스를 포함합니다. 프레임은 조절이 가능하고 쉽게 구성할 수 있으며, 여러 위치 및 디바이스 유형을 사용할 수 있습니다. 또한 내장형 안전 (Safety) 기능도 포함되며, 웨이퍼는 항상 안전하고 안전하게 처리됩니다. 또한, PST100에는 자동 통신을 용이하게하기 위해 전동 플랫폼, 로드 포트, 기타 주변 장치와 통합되는 전기 컨트롤러 (Electrical Controller) 가 포함되어 있습니다. ASYST 100은 처리량이 많은 웨이퍼 처리를 위한 완벽한 솔루션입니다. 속도, 조절 가능한 기능으로 생산라인을 손쉽게 처리할 수 있습니다 (영문). 다양한 프로세스 요구사항에 맞게 사용자 정의할 수 있는 기능을 통해 기존 제조 회선 시스템 (Manufacturing Line System) 과 완벽하게 호환됩니다. 이 툴은 여러 웨이퍼 (wafer) 를 사용하여 작업할 때 신뢰할 수 있는 것으로 입증되었으며, 수동 처리를 제거하여 비용을 크게 절감할 수 있습니다. PST PST100은 또한 고급 안전 기능을 사용하여 효율적이고 안전한 웨이퍼 처리에 이상적인 솔루션입니다.