판매용 중고 ASYST NRI 2150 #9119975

ASYST NRI 2150
ID: 9119975
Wafer handler.
ASYST NRI 2150은 반도체 제조 시설에 사용하도록 설계된 고성능 웨이퍼 핸들러입니다. 장비는 처리를 위해 자동으로 웨이퍼를 로드, 언로드, 셔틀 및 정렬하도록 설계되었습니다. 2150 은 많은 수 의 "웨이퍼 '를 정밀 하게 처리 해야 하는 응용 에 이상적 이다. NRI 2150 은 단일 머신에 최대 5 개의 툴을 장착하여 대규모 테스트/제조 작업을 위한 경제적인 솔루션을 제공합니다. ASYST NRI 2150 의 컴팩트하고 효율적인 설계는 통합 시스템에 적합하며, 단일 시스템의 여러 프로세스 툴을 활용합니다. 이 장치는 경량 (light-weight) 및 견고한 구조로 설계되어 높은 수준의 프로세스 무결성을 보장합니다. 이 장치는 뛰어난 반복성과 정확성의 조합으로, 정확한 웨이퍼 처리 프로세스를 가능하게합니다. NRI 2150에는 생산 효율성과 처리량을 최적화하는 여러 가지 고급 기능이 있습니다. "웨이퍼 셔틀 '의 길이 는 1.2" 미터' 까지 연장 되어 "웨이퍼 '를 신속 하고 부드럽게 교환 할 수 있다. 기계는 전체 웨이퍼 서피스를 빠르고 정확하게 스캔할 수 있으며, 로드 시간을 최소화하고, 처리량을 최대화할 수 있습니다. ASYST NRI 2150에는 민감한 기판을 보호하기 위해 온도 조절 하위 시스템도 장착되어 있습니다. 이 기능은 프로세싱 챔버 (Processing Chamber) 에서 일관된 온도 범위를 유지하므로 프로세스 안정성과 반복성을 보장합니다. 이 장치는 또한 정확한 웨이퍼 로딩 및 정렬을 보장하는 통합 전면 (front-side) 사전 정렬기를 제공합니다. NRI 2150에는 웨이퍼 (wafer) 의 존재를 자동으로 감지하고 효율적인 처리를 위해 정위하는 내장 센서가 있습니다. 이 기능은 수동으로 웨이퍼를 조작하지 않도록 하여 운영자 안전을 향상시킵니다. 또한, 이 툴은 시간당 최대 200 개의 웨이퍼를 로드할 수 있으며, 설치 시간을 줄이고, 더 빠른 프로세스 시작을 가능하게 합니다. 전반적으로 ASYST NRI 2150은 대용량 반도체 제조 어플리케이션에 이상적인 솔루션으로, 정확하고 안정적인 웨이퍼 처리 성능을 제공합니다. 수작업 및 관리 작업을 제거하고, 운영 효율성을 높이고, 운영 비용을 절감합니다.
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