판매용 중고 ASYST LPX 2200 #9220762

ASYST LPX 2200은 반도체, 태양 광 및 LED 산업의 자동 처리 응용 프로그램에 사용되는 웨이퍼 핸들러입니다. 최대 다이 크기가 16mm (0.64 인치) 인 단일 200mm (8 인치) 및 300mm (12 인치) 웨이퍼를 로드, 운송 및 언로드할 수 있습니다. ASYST LPX-2200 은 유연하고 신뢰할 수 있는 솔루션으로, 기존 프로세스에 쉽게 통합할 수 있도록 설계되었습니다. 웨이퍼 핸들러는 기본 장치, A/C 드라이브, 사용자 인터페이스 및 전송 하위 시스템의 4 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 기본 장치에는 LPX 2200의 주요 구성 요소가 있으며 전원 공급 장치, 드라이브 회로, 인쇄 회로 기판, 기계 프레임 등이 있습니다. A/C 드라이브는 시스템 전체에서 웨이퍼를 움직이는 전송 서브시스템의 동작을 제어합니다. 사용자 인터페이스는 운영자에게 장비 매개변수 및 명령에 대한 액세스를 제공합니다. 여기에는 로컬 터치 스크린, 원격 사용자 인터페이스 PC, 이더넷/직렬 통신 옵션이 포함됩니다. 전송 하위 시스템은 웨이퍼의 로드, 언로드 및 전송을 담당합니다. 그것 은 진공 "벨트 '" 시스템' 을 사용 하여 "웨이퍼 '를 움직 이는 것 과" 와퍼' 를 기계 전체 에 걸쳐 신속 하고 정확 하게 움직 일 수 있는 견고 한 컨베이어 장치 를 사용 한다. LPX-2200은 엄격한 안전 및 신뢰성 표준을 충족하도록 제작되었습니다. 이 장치는 단단한 기계적 프레임 (rigid mechanical frame) 과 동적, 정적 제어 시스템 (static control system) 을 사용하여 정확한 위치와 반복 가능성을 보장합니다. 또한, 이 기계에는 입자 오염 위험을 줄이는 환경 제어 도구 (Environmental Control Tool) 가 포함되어 있습니다. 성능 측면에서 ASYST LPX 2200은 시간당 최대 1930 개의 웨이퍼를 달성 할 수 있습니다. 이 자산은 기존 툴 세트와 쉽게 통합되도록 설계되었으며, 개방형 통신 프로토콜과 API (Automation for Automation) 기능을 모두 제공합니다. 또한 이 웨이퍼 핸들러에는 다중 웨이퍼 기능, 웨이퍼 정렬 제어, 에지 정렬, 지능형 도구 로딩 등 다양한 고급 기능이 포함되어 있습니다. ASYST LPX-2200은 반도체, 태양 광 및 LED 산업의 요구를 충족하도록 설계된 효율적이고, 안정적이며, 유연한 웨이퍼 핸들러입니다. 강력한 구성과 고급 기능을 통해 자동화된 처리 (automated processing) 애플리케이션에 이상적인 선택이 됩니다.