판매용 중고 ASYST LPX 2200 #293829501

ID: 293829501
Load port.
ASYST LPX 2200 (ASYST LPX 2200) 은 다양한 크기의 실리콘 웨이퍼를 정확하고 정확하며 신뢰할 수 있도록 설계된 멀티 챔버 자동 웨이퍼 핸들러입니다. 사용자는 온도, 압력, 진공, 탈수와 같은 웨이퍼 전송 과정에서 중요한 매개변수를 정확하게 모니터링할 수 있습니다. 이렇게 하면 처리 된 "웨이퍼 '가 안정적 이고 최적 된 상태 에 머물러 있으므로 최상 의 질 을 얻을 수 있다. ASYST LPX-2200은 강력한 진공 흡입 및 정확한 X, Y, Z 변환 테이블로 정확한 웨이퍼 처리를 보장합니다. 회전 테이블은 일관된 웨이퍼 회전 기능을 제공합니다. 가열 된 전송 암은 최대 200mm (wafer) 의 웨이퍼를 수용하고 정확한 웨이퍼 위치를 보장합니다. 가열 된 전사 암의 온도는 10 ° C에서 50 ° C로 조정할 수 있습니다. 운반 장비는 운전하는 동안 의도하지 않은 물체를 감지하기 위해 경커튼 모니터링 시스템 (light curtain monitoring system) 을 사용하여 우발적 실패의 위험을 줄입니다. 이 장치는 또한 시스템 또는 전기 장애 시 자동 장애 복구 (Automatic Fault Recovery) 기능을 제공합니다. PC 기반 제어 도구는 수동 및 자동 작업을 모두 지원하는 유연한 자동화를 제공합니다. LPX 2200 자산은 표준 JEDEC 용 카세트 어댑터, EIAJ 카세트 및 라운드, 싱글 슬롯 없는 웨이퍼 링을위한 웨이퍼 링 어댑터와 같은 다양한 액세서리와 함께 사용할 수 있습니다. 또한 바코드 판독기와 같은 외부 센서를 지원합니다. LPX-2200은 효율적이고 안정적이며 유연한 웨이퍼 처리 기술입니다. 이 제품은 다양한 요구 사항을 충족하도록 설계되었으며 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기와 형태에 대한 견고한 설정을 제공합니다. 자동화된 기능은 빠르고 효율적인 웨이퍼 전송을 보장하고, 가열된 전송 암은 정확하고 정확한 웨이퍼 처리를 보장합니다. 또한, 모델의 다양한 액세서리 및 외부 센서는 최소한의 중단 (interruption) 과 장애 (failure) 를 가진 다양한 응용 프로그램을 지원합니다.
아직 리뷰가 없습니다