판매용 중고 ASYST LPT 2200 #9298601

ASYST LPT 2200은 반도체 산업에서 사용하도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 반도체 웨이퍼의 이동 및 처리에 사용되는 자동 웨이퍼 핸들러입니다. ASYST LPT2200 (ASYST LPT2200) 에는 다양한 유형의 웨이퍼 크기를 수용 할 수있는 공정 챔버 (process chamber) 가 있으며, 다양한 웨이퍼를 효율적이고 안정적으로 처리 할 수 있습니다. LPT 2200은 몇 가지 특정 구성 요소가있는 통합 웨이퍼 핸들러입니다. 메인 챔버에는 로드 포트 (loadport) 가 장착되어 있으며, 이 포트는 챔버에서 웨이퍼를 로드하고 언로드하는 데 사용됩니다. 로드포트는 웨이퍼 로드 (wafer loading) 및 언로드 (unloading) 를 용이하게 하는 데 사용되는 웨이퍼 전송 메커니즘으로 구성됩니다. 이것은 챔버 (Chamber) 상단을 가로 질러 움직이고 웨이퍼 (Wafer) 의 캐리어 역할을하는 로봇 암 (Robotic Arm) 의 움직임으로 달성됩니다. 그런 다음 "웨이퍼 '는 수평 과 수직 으로 움직 이는 선형" 슬라이드' 로 옮겨져 "웨이퍼 '의 정확 한 위치 를 유지 할 수 있게 된다. 약실 중앙에 위치한 웨이퍼 홀더 어셈블리 (wafer holder assembly) 와 검출기 (detector) 는 LPT2200의 다른 중요한 구성 요소입니다. 홀더 어셈블리 (holder assembly) 는 웨이퍼 이동을 추적하는 데 사용되는 동안 웨이퍼 (wafer) 를 고정하고 회전시켜 웨이퍼 (wafer) 를 테스트에 올바르게 배치합니다. 방에는 웨이퍼 홀더 (wafer holder) 에 웨이퍼를 배치하는 데 사용되는 통합 포지셔닝 암이 장착되어 있습니다. 포지셔닝 암은 x, y 및 z 축을 따라 웨이퍼를 이동하는 데 사용되는 선형 슬라이드로 구성됩니다. 이렇게 하면 테스트 위치와 함께 와퍼를 정확하고 정확하게 정렬할 수 있습니다. ASYST LPT 2200 (ASYST LPT 2200) 에는 전용 온도 제어 및 칠러 시스템도 포함되어 있어 챔버 내 환경을 유지하는 데 도움이됩니다. 이렇게 하면 "웨이퍼 '가 시험 과 처리 를 위한 최적 의 상태 에 있게 된다. 마지막으로, ASYST LPT2200 에는 와퍼의 안전한 처리를 보장하는 다양한 안전 기능이 있습니다. 이러한 기능에는 도어 인터록, 액세스 제어 및 비상 전원 끄기 시스템이 포함됩니다. 이러한 기능은 챔버에서 처리 할 때 "웨이퍼 '가 안전하도록 설계되었습니다. 전반적으로, LPT 2200 웨이퍼 핸들러는 반도체 산업에서 사용하도록 설계된 정확하고, 자동화되고, 신뢰할 수있는 웨이퍼 핸들러입니다. 통합 기술과 안전 장치 (Safety Features) 는 정확하고 안정적인 웨이퍼 처리가 필요한 모든 환경에 이상적인 선택입니다.