판매용 중고 ASYST LPT 2200 #9291616

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ID: 9291616
빈티지: 2004
SMIF Loaders 2004 vintage.
ASYST LPT 2200은 ASYST Technologies에서 개발 한 통합 웨이퍼 핸들러입니다. 반도체 제작 공정 (semiconductor fabrication process) 에서 각기 다른 챔버 사이에 웨이퍼를 전송하도록 설계된 안정적이고 정확한 테스트 장비입니다. ASYST LPT2200 (ASYST LPT2200) 은 효율성을 극대화하고 전반적인 설치 공간을 줄여주는 컴팩트하고 모듈식 설계를 갖추고 있습니다. 싱글 암 디자인에는 독립적 인 조그 (jog) 및 틸트 (tilt) 기능이 있으므로 최대 200mm 직경의 웨이퍼를 정확하게 전송할 수 있습니다. 또한 빠른 설정과 동작 주기 (action cycle) 를 제공하여 각 웨이퍼의 빠르고 안정적인 전송을 보장합니다. LPT 2200 은 긴 수명의 서보 모터 (servomotor) 에 의해 구동되며, 이는 정확하고 반복 가능한 움직임을 제공하고 위치 오류를 최소화하도록 설계되었습니다. 표준 구성에는 장애물을 모니터링하고 감지하는 여러 센서 (예: 적외선 카메라) 가 포함됩니다. 또한 정확한 웨이퍼 정렬을 위해 조정 할 수있는 고급 로드 로커 (load-locker) 가 있으며, 더 빠른 웨이퍼 전송을 통해 정확도가 향상됩니다. LPT2200 은 다양한 구성과 설정 포인트 (set point) 를 갖춘 사용하기 쉽고 다양한 사용자 인터페이스를 제공하여 운영자가 각 wafer cycle 에 대해 흐름 (flow) 과 프로토콜 (protocol) 을 프로그래밍할 수 있도록 합니다. 모듈식 설계 (modular design) 를 통해 프로세스 요구 사항에 따라 컴포넌트를 정확하게 대체할 수 있습니다. 또한 고급 소프트웨어를 사용하면 운영 매개변수를 모니터링, 진단, 분석하고 데이터를 추적할 수 있습니다. ASYST LPT 2200은 Class 1 클린 룸 표준을 준수하며 프로세스 챔버 내부의 제어 환경을 유지할 수 있습니다. 지속적인 운영 및 모니터링을 위해, 시스템은 원격으로 액세스할 수 있는 원격 콘솔 (remote console) 에 연결됩니다. 이렇게 하면 더 빠르고 효율적인 웨이퍼 전송이 가능합니다. ASYST LPT2200은 장기적이고 안정적인 작동을 위해 설계되었습니다. 이 제품은 매우 견고한 구성과 낮은 전력 소비량 (power consumption) 을 제공하여 워크샵 및 운영 환경에 적합합니다. 또한 자체 진단 및 자동 조정 기능이 내장되어 있어 안정성과 성능이 더욱 향상되었습니다. LPT 2200 은 고급 설계와 견고한 구성으로, 웨이퍼 처리 어플리케이션을 위한 안정적이고 비용 효율적인 테스트 솔루션입니다.
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