판매용 중고 ASYST LPT 2200 #9276473

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ASYST LPT 2200
판매
ID: 9276473
SMIF Loaders.
ASYST LPT 2200 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 최첨단 반도체 제품 제작에 사용하도록 설계된 독점 반자동 전송 장비입니다. 고급 설계는 수동 시스템의 유연성 (Flexibility) 과 정밀성 (Precision) 을 자동화된 솔루션의 일관성과 신뢰성을 결합한 것입니다. ASYST LPT2200 (ASYST LPT2200) 은 리프트 앤 틸트 (lift-and-tilt) 기능을 제공하여 픽암을 사용하여 직경 300mm까지의 웨이퍼를 수직으로 이동하여 전송할 수 있습니다. 정렬 및 위치 지정, 회전 및 방향 조정, 빠른 주기 전송 (fast-cycle transfer) 등 여러 작업을 완벽하게 자동화할 수 있습니다. 또한 부품 방향을 읽을 수 있는 비전 장치 (vision unit) 를 내장하여 올바른 위치를 보장합니다. LPT 2200 은 여러 대의 웨이퍼 (wafer) 를 동시에 처리할 수 있도록 설계되어 빠른 속도로 생산할 수 있습니다. 스테인레스 스틸로 만들어졌으며, 먼지와 습기로부터 보호하기 위해 IP-65 호환 물개를 가지고 있습니다. 통합 전원 공급 장치를 통해 다양한 외부 제어 옵션 (예: 센서, 수동 입력 장치) 을 사용할 수 있습니다. LPT2200에는 선형 드라이브 머신 (Linear Drive Machine) 이 있어 초속 0.2mm에서 초속 6.4mm까지 다양한 속도로 원활하게 이동할 수 있습니다. 반복 정확도는 ± 10äm이고 최대 가속도는 0.3g입니다. 웨이퍼 핸들러는 단일 축 및 이중 축 모터 (linear 및 rotary actuator) 를 사용하여 움직임을 정확하게 제어합니다. 또한 독립 안전 시스템, 결함 진단 도구, 통합 안전 회로가 장착되어 있습니다. 안전 장치 (Safety Systems) 는 자산의 일부에 장애가 있으면 작동을 중지하도록 설계되었습니다. 결함 진단 모델 (fault diagnostic model) 을 프로그래밍하여 장비 작동을 모니터링하고 운영자에게 문제를 경고할 수 있습니다. 통합 안전 회로는 ASYST LPT 2200을 손상 및 오작동으로부터 보호하도록 설계되었습니다. ASYST LPT2200은 반도체 제작의 요구를 충족하도록 설계된, 정밀하고 안정적인 시스템입니다. 설치, 사용이 용이하며, 다양한 운영 라인에 사용할 수 있습니다. 첨단 설계는 정확성과 일관성을 필요로 하는 빠른 속도의 고정밀 (high-precision) 작업에 적합합니다.
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