판매용 중고 ASYST LPT 2200 #9275212

ASYST LPT 2200은 HVM (High Volume Manufacturing) 및 R&D 실험실에서 정밀 fab 자동화를 위해 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 200mm 또는 -150mm 웨이퍼 (또는 -50mm 사각형) 용으로 구성된 컴팩트하고 컴팩트한 웨이퍼 핸들러이며 정확하고 반복 가능한 기판 동작을 제공합니다. 독특한 서스펜션 디자인으로, 진동 및 기계적 충격을 줄임과 동시에 안정된 동작 응답을 제공합니다. ASYST LPT2200에는 기본 프레임, LPT (Linear Positioning Table) 및 웨이퍼 스테이지의 세 가지 주요 부품이 있습니다. 기본 프레임은 LPT 에 대한 구조적 무결성 (Structural Integrity) 을 지원하고 제공하여, 까다로운 프로덕션 시나리오에서 정확하고 반복 가능한 작동을 보장합니다. 웨이퍼 스테이지 (Wafer Stage) 는 다중 축 스테이지로 구성되며 빠르고 정확한 웨이퍼 처리를 지원합니다. LPT는 서보 드라이브 모터 (servo drive motor), 고속 및 정확도로 무대를 움직이는 선형 모터 레일 세트, 추가 안정성을 제공하는 롤러 테이블, 진동 및 기계적 충격을 줄이기 위한 유연성 (flexure) 의 4 가지 주요 부분으로 구성됩니다. LPT (LPT) 는 장비의 핵심 구성 요소이며, 설계는 진동 및 기계적 충격을 최소화하면서 신뢰성 있는 동작 응답을 보장하도록 최적화되었습니다. LPT는 정확도와 성능을 더욱 향상시키기 위해 "고해상도 인코더 '로 구동된다. 따라서 위치와 속도를 정확하게 제어할 수 있으며, 시스템 처리 속도 요구 사항을 완벽하게 충족할 수 있습니다. LPT는 또한 전용 모션 컨트롤러, 스테퍼 모터 서보, 인코더 지원 등의 고급 기능을 갖추고 있습니다. 이러한 기능은 강력한 소프트웨어, 하드웨어 (하드웨어) 와 함께 효율적이고 원활한 운영을 보장합니다. LPT 2200 웨이퍼 핸들러 (LPT 2200 Wafer Handler) 는 장치의 위치와 속도를 모니터링하기 위한 센서 어레이도 지원하므로 성능을 더욱 최적화할 수 있습니다. 결론적으로, LPT2200은 정밀 Fab 자동화에 적합한 안정적이고 고급 웨이퍼 처리 기계입니다. 특유의 서스펜션 설계, 고급 기능, 센서 (sensor) 를 통해 매우 정확하고 반복 가능하므로 견고한 처리량 (throughput) 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 컴팩트하고, 효율적이며, 광범위한 기판 크기를 수용하여 다용도를 극대화할 수 있습니다.