판매용 중고 ASYST LPT 2200 #9221773

ASYST LPT 2200은 반도체 처리 도구 사이에 350mm, 300mm 및 200mm 웨이퍼를 운송 및 조작하도록 설계된 완전 자동화 웨이퍼 핸들러입니다. 이 장비는 Galil 모션 컨트롤러, 2 개의 고조파 드라이브 및 고해상도 Pb-free 선형 인코더를 사용하여 제작되었습니다. 작은 설치 공간과 최적화된 설계로 인해 클린 룸 (cleanroom) 환경에서 작동할 수 있으며, 복잡한 반도체 어플리케이션에 필요한 높은 처리량과 정밀도를 제공합니다. ASYST LPT2200의 주요 기능은 캐리어 전송 및 베이 간 정렬의 두 가지입니다. 4 개의 프로세싱 베이 포트 중 2 개는 시스템의 X-Y 축 (X-Y axis) 과 회전 단계 (rotary stage) 에 의해 서브 미크론 정확도로 배치되어 검사 포트와 처리 포트 사이에 웨이퍼를 빠르게 이동할 수 있습니다. 또한 선형 스태이징 장치 (Linear Staging Unit) 는 베이-베이 (Bay-to-bay) 및 매거진 포트 (Magazine Port) 에서 웨이퍼 교환을 가능하게 하여 다양한 작업을 위해 기계를 구성할 수 있습니다. 이 도구는 인간의 오류를 제거하고, 잠재적으로 피해를 입히는 사건으로부터 섬세한 웨이퍼를 보호하도록 설계된 수많은 안전 (safety) 기능을 갖추고 있습니다. 여기에는 장애 발생 시 움직임을 방지하는 통합 시력 자산 (integrated vision asset) 및 충돌 탐지 센서 (collision detection sensor) 가 포함됩니다. 또한, LPT 2200 은 여러 가지 오류 진단을 수행할 수 있으며, 종합적인 모니터링 및 제어를 위해 플랜트 와이드 (plant-wide) 아키텍처에 통합될 수 있습니다. 이 모델에는 클리닝 솔루션 (cleaning solution) 과 압축 질소 (compressed nitrogen) 를 사용하여 4 개의 베이 포트 각각을 배수하고 플러시하는 다양한 자동 클리닝 프로세스가 포함되어 있습니다. 수자원 재순환 장치 (deionized water recirculation equipment) 에 의해 보완 된 것으로, 시스템의 장기적인 신뢰성을 보장하고 유지 보수 및 유지 보수에 필요한 수작업 (manual cleaning) 의 수를 줄입니다. 마지막으로, LPT2200 은 PPC 엔클로저에 내장된 내구성이 뛰어나고 인체 공학적으로 설계된 프레임으로, 다양한 플랜트 (plant) 구성 및 작업 환경에서 사용하기에 적합합니다. 또한 소음과 열을 최소화하도록 설계된 다양한 고품질 모터, 앰프, 전자 제품 (Electronics) 이 포함되어 있습니다. 이것은 직관적이고, 사용자 친화적 인 제어 소프트웨어와 함께 ASYST LPT 2200을 다양한 반도체 처리 응용 분야에 이상적인 선택으로 만듭니다.