판매용 중고 ASYST LPT 2200 #9217927
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ASYST LPT 2200 (ASYST LPT 2200) 은 광학 및 방사능 웨이퍼 프로세스 측정 및 평가 중에 안정적이고 정확하게 수행되도록 설계된 다중 사이트, 유연하고 구성 가능한 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템은 반도체 및 태양 광 산업 분야에 적합합니다. 고급 웨이퍼 처리 (wafer loading, transfer, alignment 및 removal), 자동 검사 및 도량형 (metrology) 을 포함한 고급 웨이퍼 처리 기술이 적용되었으며, 다양한 프로세스 요구 사항을 충족하도록 쉽게 수정할 수 있습니다. 이 장치에는 검사 중 웨이퍼의 실시간 이미지를 캡처할 수 있는 고해상도 (High Resolution) 광학 이미지 센서 (Optical Image Sensor) 가 장착되어 있으며, 이미지 (Image) 를 자동으로 분석하여 결함, 사양 편차 및 기타 이상을 파악할 수 있는 비전 처리 기술 (Vision Processing Technology) 이 장착되어 있습니다. 이를 통해 컴포넌트와 어셈블리가 컴포넌트 및 프로세스 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 이 기계는 모듈 식으로 설계되었으며 140mm ~ 300mm 범위의 다양한 웨이퍼 처리 테이블 크기를 갖추고 있습니다. 이를 통해 다양한 wafer 크기의 자동 처리 및 측정이 가능합니다. 또한 중앙 컨트롤러 (Central Controller) 를 사용하여 프로세스의 구체적인 요구를 충족할 수 있습니다. 컨트롤러는 여러 wafer handler 모듈을 제어할 수 있으며, 여러 사용자 정의 시퀀스를 실행하도록 프로그래밍할 수 있습니다. 이 자산에는 웨이퍼 (wafer) 처리 기능 외에도 웨이퍼 검사, 측정, 분석 등 다양한 자동 검사 (automated inspection) 시스템이 탑재되어 있다. 여기에는 광학 측정, 진동 분석 및 비파괴 테스트가 포함됩니다. 또한 ASYST LPT2200 에는 통계 프로세스 제어 모델이 포함되어 있으며, 이를 통해 실시간 운영 중에 데이터를 자동으로 평가할 수 있습니다. 이 장비 는 또한 인력 을 보호 하기 위해 설계 된 복잡 한 안전 "시스템 '과 그 부대 의 장비 및 기타 부품 들 을 갖추고 있다. 여기에는 웨이퍼 처리 (wafer handling) 동작을 모니터링하는 다중 신호 머신과 추가 처리에 적합하지 않은 감지된 웨이퍼를 안전하게 폐기하는 자동 웨이퍼 처리 (automatic wafer disposal) 메커니즘이 포함됩니다. 전반적으로, LPT 2200은 반도체 및 태양 광 산업을 위해 정밀도, 안정성, 광범위한 기능을 제공하는 고급 웨이퍼 핸들러입니다. 구성 요소와 어셈블리를 손쉽게 생성, 검사, 평가할 수 있으며, 프로세스는 효율적이고 일관되게 수행됩니다.
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