판매용 중고 ASYST LPT 2200 #9217833

ASYST LPT 2200 웨이퍼 핸들러는 반도체 생산 라인에서 웨이퍼를 안전하게 처리하도록 설계된 산업 로봇입니다. 이 회사는 LPT (Lucky Positional Tilt) 시리즈 웨이퍼 처리 로봇의 일부이며 대규모 웨이퍼 처리 응용 프로그램에 적합합니다. ASYST LPT2200은 이중 팔 메커니즘을 특징으로하여 최대 12 개의 75mm (200mm) 직경 원형 실리콘 웨이퍼 또는 6 개의 150mm (200mm) 사각형 웨이퍼를 보유 및 운송 할 수 있습니다. 그런 다음, 고급 동작 제어를 사용하여 다양한 도구, 프로세스 스테이션, 경로로 웨이퍼를 전송할 수 있습니다. CCD 센서는 정확한 제어에 이상적이며, 소프트웨어 제어 틸트 (tilt) 기능을 통해 웨이퍼 수송 및 수송 문제를 쉽게 관리할 수 있습니다. LPT 2200 (LPT 2200) 은 동작 범위가 비교적 넓어 여러 방향으로 웨이퍼를 운송 할 수 있습니다. 팔은 거의 600mm (1.4 미터) 에 이릅니다. 고급 추적 기술은 정확성과 반복 성을 더욱 향상시킵니다. 로봇은 안전을 위해 설계되었으며, 모든 진동 및 소음 표준을 충족합니다. 또한 과전류, 과압력 및 과온 보호를 포함하는 포괄적 인 안전 시스템이 있습니다. LPT2200에는 프로그래밍 및 사용이 용이한 일련의 프로그래밍 도구가 포함되어 있습니다. 직관적 인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 프로그램을 설정하고, 웨이퍼를 선택 및 전송하며, 여러 로봇 작업을 프로그램할 수도 있습니다. 또한 단순 선, 원형 경로, 대상 기반 이동 등 다양한 로봇 궤적을 사용하여 프로그래밍 할 수 있습니다. ASYST LPT 2200은 유지 보수가 적고 수명이 긴 24-7 작동을 위해 설계되었습니다. 30,000 시간 또는 5 년 동안 작동을 테스트했으며 신규/기존 제품군에 통합될 수 있습니다. 다중 웨이퍼 처리 기능과 견고한 설계를 갖춘 ASYST LPT2200 은 대규모 웨이퍼 프로세싱에 적합합니다.