판매용 중고 ASYST LPT 2200 #9184276

ASYST LPT 2200 (ASYST LPT 2200) 은 프로세스 모듈 간 반도체 웨이퍼의 효율적이고 안전하며 반복 가능한 이동을 보장하도록 설계된 전용 웨이퍼 핸들러입니다. ASYST APT 웨이퍼 처리 플랫폼 (ASYST APT Wafer handling platform) 의 일부로, 반도체 웨이퍼를 사용할 때 특히 안정적이고 강력한 선택입니다. ASYST LPT2200은 카세트나 프로세스 모듈 간에 웨이퍼를 손상시키지 않고 이동하도록 설계되었습니다. 수직 및 수평 운송 시스템 모두에서 웨이퍼를 전송 할 수 있습니다. 신뢰할 수있는 설계로 웨이퍼와 프로세스 모듈 사이의 정밀 정렬이 보장됩니다. 그 에 더하여, "와퍼 '를 공정 사이 의 이동 에 따라 정해진 온도 로 유지 하면서, 전사" 챔버' 의 온도 를 조절 하는 기능 을 수행 하는 통합 된 열 조절 장치 가 있다. LPT 2200은 소형의 공간 절약형 디자인으로, 제한된 영역 내에서 효율적인 칩 처리를 가능하게 합니다. 개방형 프레임은 다양한 자동화 시스템 (Automation System) 을 손쉽게 수용할 수 있으며, 모듈식 설계를 통해 빠르고 손쉽게 설치하고 유지 관리할 수 있습니다. 즉, 다운타임을 최소화하여 카세트 구성 처리를 신속하게 전환할 수 있도록 설계되었습니다. LPT2200은 6 ~ 200mm 크기의 웨이퍼 (wafer) 를 처리할 수 있으며 조정 가능한 웨이퍼 찾기 동작을 제공합니다. "와퍼 '의 안전 한 이동 및 안전 방출 을 위한 강력 한 진공" 픽업' 장치 가 들어 있다. 동력 선형 구동 시스템은 세라믹 및 스테인레스 스틸 프로세스 모듈에 정확한 예금을 만듭니다. ASYST LPT 2200에는 손쉬운 청소 및 유지 관리를 위해 탈착식 도어가 장착 된 내부 스테인리스 스틸 챔버 (Stainless Steel Chamber) 가 있습니다. ASYST LPT2200은 자동 반도체 웨이퍼 처리에 이상적입니다. 신뢰할 수 있고, 설치와 유지 보수가 용이하며, 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기를 처리하도록 설계되었습니다. 정밀한 정렬과 견고한 설계로 프로세스 모듈 간에 효율적이고 반복 가능한 웨이퍼 (wafer) 이동이 가능하며, 웨이퍼가 손상되지 않도록 보호합니다.