판매용 중고 ASYST LPT 2200 #9146576

ASYST LPT 2200 (ASYST LPT 2200) 은 다양한 태양 전지 제조 프로세스에 사용하도록 설계된 전통적인 로봇 웨이퍼 핸들러입니다. 매우 정밀하고 안정적인 동작 (motion) 의 여러 축을 갖추고 있어, 정확하고 복잡한 웨이퍼 조작과 배치를 가능하게 합니다. 이 웨이퍼 핸들러는 Wafer 검사, Wafer 정렬 및 처리, Wafer 테스트, Wafer 청소 등 다양한 애플리케이션의 유연성과 효율성을 제공합니다. ASYST LPT2200의 주요 구성 요소에는 웨이퍼 셔틀, Z 및 XY 단계 및 4 축 로봇 팔이 포함됩니다. 웨이퍼 셔틀 (wafer shuttle) 은 정확하고 안정적인 웨이퍼 운송을 위해 설계된 동력 장치입니다. 통합 지점 사이에서 수평으로 이동할 수 있으며, 진공 척 (vacuum chuck) 은 웨이퍼와의 그립 및 상호 작용을 제공합니다. Z (Z) 및 XY (XY) 단계는 선형 유형이며 평행 동작을 가지므로 수직 및 수평 축에서 정확한 이동이 가능합니다. 4 축 로봇 암은 다양한 작업을 수행하기 위해 4 개의 축 (X1, X2, Y 및 Z) 을 따라 정확한 동작을 수행 할 수 있습니다. LPT 2200의 제어 장비는 MCS 모션 시스템을 기반으로합니다. 이 모션 제어 장치에는 특수 서보 컨트롤러, 24V DC 전원 공급 장치 및 여러 개의 I/O 모듈이 포함됩니다. 서보 (Servo) 컨트롤러는 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 구성 요소의 전반적인 제어를 담당하여 장치의 정밀하고 부드러운 동작을 가능하게 합니다. 입출력 (I/O) 모듈은 다양한 시스템 구성 요소에 대한 I/O 제어를 제공하여 웨이퍼 처리 프로세스를 유연하고 동적으로 제어할 수 있습니다. 또한, LPT2200은 정밀한 정렬을위한 비전 머신 (vision machine) 과 연약한 웨이퍼를 더 잘 처리하기위한 통합 그리퍼 (gripper) 를 갖추고 있습니다. 또한 확장 키트를 사용하여 웨이퍼 처리 기능을 더욱 확장할 수 있습니다. 이 웨이퍼 핸들러는 고성능, 안정성, 유연성을 결합하여 다양한 태양전지 (solar cell) 제작 프로세스에 효율적인 솔루션을 제공합니다.