판매용 중고 ASYST LPT 2200 #9111909

ASYST LPT 2200은 반도체 및 관련 산업을 위해 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 이 장치는 고속, 고정밀 웨이퍼 처리 응용 프로그램에 사용됩니다. 작은 설치 공간으로, ASYST LPT2200은 소형 솔루션이 필요한 어플리케이션에 적합합니다. LPT 2200은 극도의 정확도로 민감한 기판을 수용하기 위해 개발 된 모듈식, 고정밀 웨이퍼 핸들러입니다. LPT2200은 대상 웨이퍼 카세트 위치를 왕복하는 동안 기판 정렬을 적극적으로 유지하도록 설계되었습니다. 복잡한 설계를 통해 툴링을 쉽게 변경하고, 특정 애플리케이션 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다. ASYST LPT 2200은 최대 205mm 웨이퍼, 한 번에 최대 4 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. ASYST LPT2200에는 3 가지 방향으로 1 미크론 반복 성을 제공하는 멀티 축 단일 조류 케이지 로봇 암이 포함되어 있습니다. 로봇은 웨이퍼를 처리 할 때 최대 937 mm/s의 속도를 제공합니다. 카세트 사이를 이동할 때 최대 속도 1,500mm/s. LPT 2200의 정교한 디자인에는 웨이퍼 관리 (wafer management) 및 픽스 앤 플레이스 (pick and place) 정확도를위한 진공 흡입 장비가 포함되어 있습니다. 외부 매니 폴드 유형 압력 조절기 (external manifold type pressure regulator) 에는 통합 흐름 미터가 포함되어 있으며 Hg에서 최대 25 개의 진공 수준을 만들 수 있습니다. 이 시스템에는 핀 척 (Pin Chuck) 및 리프트 (Lift) 메커니즘이 있어 빠른 웨이퍼 활성화가 가능하며 조절 가능한 스틱 포인트를 제공합니다. LPT2200은 소형 폼 팩터 웨이퍼 처리가 필요한 실험실, 파일럿 플랜트 및 생산 라인에 완벽한 선택입니다. 또한 간편한 작동을 지원하는 사용자 친화적 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI) 와 통합 진단 소프트웨어 (Diagnostic Software) 및 SCADA 연결 (Optional SCADA Connectivity) 기능을 제공합니다. 요약하자면, ASYST LPT 2200은 고속, 고정밀 웨이퍼 처리 솔루션에 적합한 선택입니다. 이 기계는 다양한 기판 크기를 수용하고 반복 가능한 프로세스 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 설치/유지보수를 위한 최소한의 시간과 노력이 필요하며, 외부 제어 시스템과 손쉽게 통합할 수 있습니다.