판매용 중고 ASYST LPT 2200 #9111901

ASYST LPT 2200은 ASYST Technologies, Inc.에서 개발 한 웨이퍼 핸들러입니다. 섭씨 -20 ~ + 150 도의 온도에서 다양한 웨이퍼 유형을 처리 할 수 있으며, 최대 웨이퍼 직경은 200mm입니다. 모듈식 프레임 (modular frame) 과 고급 동작 시스템 (advanced motion system) 으로 구성되어 각 작업의 정확성과 반복성을 보장합니다. 이 시스템은 정확성과 신뢰성을 염두에 두고 설계되었으며, 웨이퍼 (wafer) 처리를 위한 업계 Best Practice를 통합했습니다. ASYST LPT2200 (ASYST LPT2200) 은 가장 정확한 정렬을 위해 각 웨이퍼에 대해 고정밀 힘 제어 포지셔닝 기술을 사용하며, 프로덕션 환경에서 작동하기에 적합합니다. LPT 2200 은 용지함 당 최대 60 개 의 "웨이퍼 '를 수용 할 수 있으며, 용지함 크기 는 서로 다른" 웨이퍼' 형태 로 완전 히 프로그래밍 할 수 있다. 로드 포트는 웨이퍼의 로드 및 언로드를 최적화하도록 설계되었으며, 최적의 웨이퍼 포지셔닝을 위한 내장형, 다중 영역 온도 컨트롤러 (multi-zone temperature controller) 가 포함되어 있습니다. 웨이퍼 존재 센서도 포함되어 있으며, 자동 트레이 인식 및 정렬이 가능합니다. LPT2200 은 조정 가능한 매개 변수로 프로세스 제어를 제공하며, 특정 프로세스 레시피에 맞게 프로그래밍할 수 있습니다. 이 시스템은 JAM-on Control Software 및 Remote Device Manager 호환성을 갖춘 표준 운영 체제와 호환됩니다. ASYST LPT 2200에는 안전 연동 및 오류 인식 기술도 포함되어 있습니다. 안전 연결 (Safety Interlock) 은 모든 웨이퍼를 올바르게 처리 및 배치하는 반면, 오류 인식 (Error Recognition) 기능은 웨이퍼의 정렬 오류 또는 처리 문제를 감지합니다. ASYST LPT2200은 또한 트레이 사용 수 (Tray Use Count), 주기 시간 (Cycle Time), 동작 정확도 (Motion Accuracy) 및 웨이퍼 존재 (Wafer Presence) 를 포함한 프로세스 모니터링을 위한 다양한 주요 성능 지표를 포함합니다. 이러한 KPI를 사용하면 정밀도 및 품질 표준을 추적하고 유지할 수 있습니다. 전반적으로, LPT 2200은 안정적이고, 정밀도가 높은 웨이퍼 핸들러로, 작동 시 유연성과 반복성을 제공합니다. 고급 기능과 프로세스 제어 기능을 갖춘 LPT2200 은 다양한 웨이퍼 (wafer) 유형의 고무결성 (high-integrity) 및 대용량 (high-volume) 생산에 적합합니다.