판매용 중고 ASYST LPT 2200 #293729427

ID: 293729427
빈티지: 2013
Standard Mechanical Interface (SMIF) loader 2013 vintage.
ASYST LPT 2200은 ASYST Technologies에서 설계 및 개발 한 웨이퍼 핸들러로, 뛰어난 정확도와 속도로 반도체 웨이퍼를 처리합니다. 이 자동 처리기는 전통적인 실리콘 웨이퍼에서 사파이어 (sapphire) 나 III-V와 같은 고급적이고 도전적인 재료에 이르기까지 최대 8 인치 크기의 다양한 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. ASYST LPT2200의 로봇 암 (robot arm) 은 처리 중 웨이퍼를 회전, 이동 및 정확하게 배치하도록 프로그래밍 될 수 있습니다. 최고 수준의 정확성을 보장하기 위해 핸들러 (Handler) 는 고속 서보 모터와 정밀 선형 가이드 시스템 (Precision Linear Guide System) 을 포함하는 정교한 운송 장비를 갖추고 있습니다. 또한, LPT 2200의 mono-wafer 및 multi-wafer 배치 처리 기능은 다른 시스템에 비해 처리량을 크게 증가시킬 수 있습니다. 또한, 핸들러는 반도체 처리 도구, 캐리어, 전송 및 카세트와 쉽게 통합 할 수 있도록 설계되었습니다. LPT2200 은 0.0001 인치 정확도로 웨이퍼 온도, 카세트 위치, 웨이퍼 위치를 모니터링하는 고급 레이저 센서 시스템을 탑재했다. "센서 '를 사용 하면 보다 효율적 인 처리 과정 을 수행 할 수 있으며" 핸들러' 의 필요 한 "헤드 '속도, 정렬 및 중심 조종 을 정확 하게 제어 함 으로써" 웨이퍼' 를 손상 시킬 가능성 이 없다. 또한, 통합 비전 장치 (Integrated Vision Unit) 는 웨이퍼 로드 및 언로드 중에 서로 다른 유형의 서피스를 포지셔닝, 검사 및 정렬할 때 유연성이 향상됩니다. ASYST LPT 2200 (ASYST LPT 2200) 은 또한 도전을 수행하는 웨이퍼 처리 작업을 수행하면서 안전한 환경을 보장하는 데 도움이 되는 밀봉형 챔버, 키드 도어 (keyed door) 및 비상 정지 버튼을 포함한 다양한 안전 기능을 제공합니다. 최적화된 시스템 설계와 신뢰할 수 있는 소프트웨어 덕분에 운영자는 전체 프로세스를 손쉽게 모니터링하고 실행 매개변수 (Execution Parameters), 진단 (Diagnostics), 성능 (Performance) 을 제어할 수 있습니다. 이를 통해 ASYST LPT2200 은 품질 보증 (Quality Assurance) 및 다양한 반도체 관련 애플리케이션에서 프로세스 제어를 위한 이상적인 솔루션이 됩니다.
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