판매용 중고 ASYST LPO 2200 #293626894

ASYST LPO 2200은 대용량 반도체 생산 프로세스에 사용하도록 설계된 고급 웨이퍼 핸들러입니다. 최대 200mm X 200mm 용량의 최대 웨이퍼 (wafer) 로 직경 200mm 크기의 웨이퍼 (wafer) 를 처리 할 수있는 단일 엔드 웨이퍼 처리 시스템입니다. LPO 2200에는 8 개의 듀얼 볼 로봇, 최대 4 개의 클램핑 스테이지, 최대 6 개의 인덱서 및 최대 6 개의 로드 락이 장착되어 있습니다. 이 시스템은 운영 프로세스에 따라 확장할 수 있는 유연성을 제공하며, 언제든지 더 큰 용량의 웨이퍼 (Wafer) 와 로봇 (Robot) 으로 업그레이드할 수 있습니다. ASYST LPO 2200은 최대 웨이퍼 속도가 시간당 100 웨이퍼 (wafer speed) 인 높은 정밀 웨이퍼 처리를 제공하며, 평균 장애 시간당 500,000 사이클의 성능 및 반복 성을 제공합니다. 또한 가능한 로봇 롤러 최대 4 개, 로봇 노즐 위치 6 개, 클램핑 단계 4 개, 인덱서 위치 6 개를 갖춘 다양한 기능을 제공합니다. 또한, LPO 2200은 특정한 요구 사항을 충족하고 공기 제어, 안전 연결 (Safety Interlock) 및 기타 업그레이드와 같은 옵션을 갖도록 사용자 정의할 수 있습니다. ASYST LPO 2200은 효율적이고 안전한 웨이퍼 처리를 위해 설계되었으며, 제로 결함 센터 링, WaferSafe 센서, 듀얼 볼 로딩 및 언로딩, 반복 가능성을 위해 프로그래밍 가능한 레시피 등의 기능이 포함되어 있습니다. 사용자 친화적 인 디자인에는 여러 언어 지원, 맞춤형 레시피, 간편한 유지 관리 기능을 제공하는 터치 스크린 디스플레이가 있습니다. LPO 2200은 또한 가변 높이, 조절 가능한 기울기 및 접근성을 갖춘 인체 공학적 (ergonomic) 설계를 포함합니다. ASYST LPO 2200은 대형 반도체 생산 라인에 적합하며 CE, cUL 및 cCSA 인증을 받았습니다. 모듈식 (Modular) 설계는 통합과 유지 관리를 단순화하는 한편, 여러 개의 개별 구성요소를 필요로 하지 않는 완벽한 솔루션을 제공합니다. 고급 기능, 유연성, 사용자 친화적 인 디자인의 LPO 2200은 대용량 생산에 이상적인 웨이퍼 핸들러입니다.