판매용 중고 ASYST LPI 2200 #9277986

ASYST LPI 2200은 최첨단 로봇 웨이퍼 핸들러입니다. 빠르고 안정적이며 정확한 웨이퍼 처리를 위해 설계되었습니다. LPI 2200은 습식 및 건식 처리 시스템 모두에서 여러 응용 프로그램을 처리하도록 설계되었습니다. 자동 웨이퍼 처리, 자동 카세트/보트 로드 및 언로드, 로드 잠금 스테이션, 드라이브 및 컨베이언스 기능이 포함됩니다. ASYST LPI 2200 베이스는 로봇 암 (Robotic Arm), 전원 공급 장치 (Power Supplies) 및 고유 한 드라이브 및 컨베이어 어셈블리를 갖춘 견고한 기계식 프레임으로 구성됩니다. 이 기능은 로봇이 작업 시퀀스 (work sequence) 를 실행할 때 장비가 높은 수준의 반복 가능성과 정확성을 유지하도록 도와줍니다. 장치의 로봇 암에는 정확한 웨이퍼 처리를 허용하는 FSENE (Force Sensitive End-Effecters) 가 장착되어 있습니다. 팔에는 4 도의 자유가 있습니다. 즉, 필요에 따라 도달, 회전, 기울기 및 기울기가 가능합니다. LPI 2200은 유연한 컨베이어 시스템을 사용하여 Load-Lock 스테이션과 고객이 제공하는 카세트 또는 보트 사이에 웨이퍼를 신속하게 전송합니다. 이 컨베이언스 장치 (Conveyance Unit) 는 또한 로봇이 웨이퍼를 스테이션에서 스테이션으로 정확하게 이동할 수 있도록 도와줍니다. 기계의 전체 드라이브 툴에는 고급 서보 모터 (advanced servo motor) 와 인코더 에셋 (encoder asset) 이 장착되어 있어 반복 가능하고 정확한 정렬 정확성을 보장합니다. ASYST LPI 2200의 Load-Lock 스테이션은 카세트 또는 보트에서 로봇 암으로 빠르고 안전하게 웨이퍼를 이동하도록 설계되었습니다. 스테이션에는 스마트 웨이퍼 식별 모델 (Smart Wafer Identification Model) 이 장착되어 있어 로봇이 로드 및 언로드 전에 Wafer를 쉽게 식별 할 수 있습니다. 로드 잠금 (Load-Lock) 스테이션은 최대 2 개의 카세트 또는 2 대의 보트를 한 번에 처리 할 수있는 반면, 압력 제어 장비는 로드/언로드 중 웨이퍼 사이트의 손상을 방지하는 데 도움이됩니다. 요약하자면, LPI 2200 은 안정적이고, 정확하며, 유연성이 뛰어난 웨이퍼 처리기로, 다양한 프로세스에서 사용할 수 있습니다. 이 장치는 견고한 기계식 프레임, 정교한 로봇 암, 컨베이언스 시스템 및 빠르고 효율적인 웨이퍼 처리가 가능한 로드 잠금 (Load-Lock) 스테이션으로 설계되었습니다. 고급 서보 모터 및 인코더 장치는 웨이퍼 위치 정확도를 더욱 개선합니다. ASYST LPI 2200은 모든 웨이퍼 처리 요구를 충족하는 안정적이고 효율적인 솔루션입니다.