판매용 중고 ASYST LPI 2200 #9262165

ASYST LPI 2200
ID: 9262165
SMIF Loader.
ASYST LPI 2200 (ASYST LPI 2200) 은 다양한 반도체 응용 분야에 사용하도록 설계된 고급형 웨이퍼 핸들러입니다. 이 장치의 핵심 구성 요소는 카세트와 공정 챔버 사이에서 반도체 웨이퍼를 움직이는 데 사용되는 2 개의 로봇 암 (robotic arm) 입니다. 무기 의 위치 정밀도 는 높으며, 정밀도 로 "웨이퍼 '를 집어 올릴 수 있도록" 프로그램' 할 수 있다. LPI 2200 은 또한 "웨이퍼 '처리 과정 에 도움 이 되는 일련 의" 센서' 와 전자 제품 을 갖추고 있다. 여기에는 웨이퍼 (Wafer) 의 존재를 감지하는 LED 기반 감지 시스템과 웨이퍼 (Wafer) 크기와 방향을 감지할 수있는 비전 시스템이 포함됩니다. "웨이퍼 '는" 터치스크린' 입력 에 의해 검출 되며, 그 다음 에는 "로봇 '암 에 있는" 웨이퍼' 의 전사 를 시작 하는 데 사용 된다. 이 장치는 다양한 카세트와 호환되며 한 번에 최대 2 개의 표준 크기 200mm 웨이퍼를 운송 할 수 있습니다. 또한, 단일 카세트에서 최대 2 개의 12 인치 웨이퍼를 운반하는 데 사용될 수도 있습니다. 웨이퍼 처리 암은 스윙 도어 (swing door) 기능으로 설계되어 챔버-카세트 (chamber-to-cassette) 작업 흐름을 방해하지 않고 단일 웨이퍼를 암에 로드할 수 있습니다. 또한 ASYST LPI 2200에는 최적의 성능 및 사용자 안전을 위해 다양한 안전 (safety) 기능이 장착되어 있습니다. 여기에는 긴급 차단 단추 (Emergency Shut-off Button) 와 안전 센서 (Safety Sensor) 가 포함되어 있습니다. LPI 2200은 고급 웨이퍼 처리 장치이며, 다양한 유형의 반도체 응용 프로그램에 적합합니다. 강력한 구성, 직관적인 사용자 인터페이스, 고급 안전 기능을 갖춘 ASYST LPI 2200 (ASYST LPI 2200) 은 다양한 업계에서 많은 양의 웨이퍼를 안정적으로 이동해야 하는 사용자에게 이상적인 솔루션입니다.
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