판매용 중고 ASYST LPI 2200 #9111916

ASYST LPI 2200은 중형 웨이퍼 처리 및 조립을 위해 설계된 고성능 웨이퍼 핸들러입니다. 중간 크기의 웨이퍼를 최대 200mm (8 인치) 까지 처리하도록 설계되었습니다. LPI 2200에는 수평/수직 인덱싱, 전송, 웨이퍼 배치 등에 사용할 수 있는 Effector 장비가 내장되어 있습니다. 또한 복잡하고 정확한 웨이퍼 포지셔닝을 위해 듀얼 스테이지 정렬과 트윈 독립 선형 로봇을 갖추고 있습니다. ASYST LPI 2200은 고속 웨이퍼 정렬 및 정렬을 제공하도록 설계되었습니다. 0.3mm 두께의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 웨이퍼 처리 속도는 시간당 200 웨이퍼 이상입니다. 2 단계 정렬 시스템은 프로세스 전반에 걸쳐 와퍼를 정확하고 반복적으로 정렬합니다. LPI 2200의 고속 (high-speed) 작동 및 정확한 정렬 기능을 통해 어셈블리 프로세스에 이상적입니다. 웨이퍼 톱질 및 웨이퍼 다이킹에도 사용할 수 있습니다. ASYST LPI 2200은 PZT (Piezo-Actuator) 장치를 사용하여 웨이퍼 표면을 정확하게 제어 할 수 있습니다. PZT 기계는 조립 전 웨이퍼 표면의 정확한 정렬 및 단단한 내성을 위해 ± 15 미크론 내에서 웨이퍼의 피치, 요, 롤을 제어 할 수 있습니다. LPI 2200은 또한 정밀한 인라인 검사를 허용하는 독점적 인 비전 도구를 갖추고 있습니다. 에셋은 측면 보기 카메라를 사용하여 웨이퍼 (wafer) 어셈블리를 따라 모든 지점에서 결함을 감지합니다. 비전 모델에는 패턴 매칭 (pattern matching) 기술이 적용되어 자동화된 웨이퍼 패턴 인식이 가능합니다. ASYST LPI 2200 은 모듈식 설계를 통해 고객의 구체적인 요구에 맞게 설계됩니다. 최첨단 진공 장비, 특수 처리기, 다양한 엔드 이펙터 등 다양한 옵션이 있습니다. 이 끝 이펙터는 시스템 내부에서 웨이퍼 및 어셈블리를 이동 및 전송하는 데 사용됩니다. 전반적으로 LPI 2200은 중형 웨이퍼 처리 및 조립을 위해 설계된 고성능 웨이퍼 핸들러입니다. 다용도, 신뢰성 있는 툴로서, 정확하고 안정적이고 반복 가능한 성능을 제공합니다. 모듈식 설계를 통해 ASYST LPI 2200은 고객의 요구에 맞게 조정할 수 있습니다.