판매용 중고 ASYST LPI 2200 #9111915

ASYST LPI 2200은 최고의 성능과 유연성을 위해 설계된 Art Wafer Handler 상태입니다. 모듈식 (modular) 설계를 통해 대부분의 산업 환경에 손쉽게 맞춤 구성하고 적응할 수 있습니다. LPI 2200은 고급 프로세스 및 열 제어 기능을 제공하여 정확하고 반복 가능한 웨이퍼 (wafer) 준비 및 처리를 지원합니다. 2 단계 설계는 부품 처리를 위해 최대 10 개의 플랫/로우 앵글 스테이지와 멀티 사이트 작업을 관리하기 위해 최대 4 개의 백 사이드 처리를 제공합니다. ASYST LPI 2200은 또한 연약한 웨이퍼를 쉽게 처리하기 위해 고급 암 끝 도구를 통합합니다. LPI 2200 의 견고한 설계를 통해 모든 크기의 웨이퍼 (최대 300mm) 를 처리할 수 있습니다. 핸들러는 자동 그리퍼 교환이 가능한 고 토크 듀얼 액추에이터 시스템 (high-torque dual-actuator system) 을 갖추고 있어 빠른 웨이퍼 로딩 및 전송을 용이하게합니다. 자동 그리퍼 시스템은 또한 도구를 교환하는 데 필요한 시간과 노력을 줄입니다. ASYST LPI 2200은 광범위한 동작 정확도와 반복 성을 자랑하며, 동작 정확도는 최대 8äm, 반복 성은 ± 1äm입니다. 제어 시스템은 고급 프로세스 제어 (process control), 모니터링 (monitoring) 및 통신 기능을 제공하여 최적화되고 반복 가능한 웨이퍼 처리 환경을 보장합니다. LPI 2200은 다양한 고급 웨이퍼 처리 기능도 지원합니다. 웨이퍼는 유동성을 극대화하기 위해 프로세스 사이에 기울어지고, 담그고, 청소할 수 있습니다. 이 핸들러 (Handler) 에는 다양한 통합 센서 및 검사 시스템 (Inspection System) 이 함께 제공되어 부품이 프로세스 중에 안전하고 정확하게 처리되도록 합니다. 또한, 핸들러에는 ASYST LPI 2200 및 관련 프로세스의 성능을 최적화하기 위해 인상적인 환경 센서와 계측기가 있습니다. LPI 2200은 안전 위험을 줄이고 위험 없는 운영을 촉진하기 위해 최고의 안전 표준 (Safety Standard) 에 대한 인증을 받았습니다. ASYST LPI 2200은 지상 결함 인터럽터, 온도 초과 보호, 자체 진단 모니터링 등의 다양한 안전 기능을 제공합니다. 핸들러 (Handler) 는 또한 큰 부품에 대해 최대 10 인치의 다이 투 다이 스트로크를 가지고 있으며, 대부분의 산업 응용 분야에 적합합니다. 또한 부품 등록 반복 (repeat parts registration) 에 대한 정확한 속도와 정확성을 보장하는 강력한 서보 모터가 있습니다. LPI 2200은 복잡한 산업 부품 처리를 위한 최고의 성능, 안정성 및 유연성을 제공합니다.